Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML M641HT #9220746 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT ist ein High-End-Masken-Aligner, der in der Halbleiterindustrie häufig verwendet wird. Es ist eine hochautomatisierte Ausrüstung, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Maskengrößen von 7 Zoll bis 8 Zoll bis zu 8 Mikrometer zu handhaben. SVG M641HT Maskenausrichter verwendet ein 4-Wege-Breadboard-Ausrichtsystem, um die Substrate, Decklippen und Netze innerhalb der Ausrichtkammer genau zu lokalisieren. Durch diese Einheit kann eine Substrat-zu-Retikel-Ausrichtung leicht erreicht werden, wodurch die Maschine mit hoher Präzision und Genauigkeit arbeiten kann. Darüber hinaus unterstützt das Tool auch mehrere Maskenausrichter und bietet Flexibilität bei Ihren Produktions- und Testanforderungen. ASML M641HT verfügt über eine breite Palette von Steuerungssystemen, die Ihnen eine präzise Kontrolle über den Prozess bieten. Dazu gehört die Steuerung von Strahlengang, Fokus und Belichtung sowie eine automatisierte Bühnenausrichtung. Die erweiterte Steuerung hilft auch, die Qualität des Prozesses zu gewährleisten, so dass es einfacher ist, hohe Renditen zu erzielen. Das Modell verwendet eine pyramidale Galvanometer-basierte Laserausrüstung, um eine gleichmäßige Beleuchtung zu gewährleisten. Dieser Laser erzeugt rund 1mW Leistung und der Strahlfleck kann zwischen 20 und 160 µm variiert werden, um unterschiedliche Retikelgrößen aufzunehmen. Die Genauigkeit des Strahlengangs kann in Echtzeit eingestellt werden, was eine maximale Ausrichtgenauigkeit gewährleistet. Das System kann mit einer Vielzahl von Materialien wie Si, Polyimid, GaN, GaAs und mehr verwendet werden. Es unterstützt eine Vielzahl von bildgebenden Prozessen, einschließlich Kontaktretikel zu Wafer, offenes Retikel zu Wafer, lokalisierte invertierte Doppelbelichtung (LIDE), blitzfreie Belichtung (FFE) und mehrschichtige Bildgebung. Neben seinen bildgebenden Fähigkeiten unterstützt PERKIN ELMER M641HT auch andere Prozessschritte wie Overlay, CD-Toleranzmessung und Tiefenabstimmung. Auf diese Weise können Sie das Gerät für eine Reihe von Anwendungen verwenden, einschließlich Lithographie, Abscheidung, Trockenätzen und vieles mehr. M641HT ist eine automatisierte Maschine, die hohe Genauigkeit und Präzision bietet und somit eine ideale Wahl für Halbleiterunternehmen ist, die ein zuverlässiges Werkzeug zur Herstellung hochwertiger Produkte suchen. SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT kann dank seiner erweiterten Steuerungsfunktionen und Laserressourcen die meisten Anforderungen an bildgebende Prozesse erfüllen.