Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300 #88758 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 88758
Projection Aligner, 3 - 4" wafers, can handle up to 80 wafers at a time, back panels have fallen off, as-is.
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300 ist ein Maskenausrichter, der im Photolithographieverfahren eingesetzt wird. Dieses Spezialinstrument wird branchenübergreifend wie Mikroelektronik, Medizin und Biotechnologie als präzises Werkzeug zur Herstellung von Komponenten von Halbleitern, Displays, Wafern und mehr eingesetzt. Die Nutzung des SVG Micralign 300 basiert auf einer externen Photolithographie. Diese Maschine bietet einen fortschrittlichen Schritt und Wiederholungsprozess, um die Chipgeometrie von einer Fotomaske auf ein Substrat zu übertragen. Es ist mit einer Genauigkeit von 10-20 µm konzipiert, so dass es für Anwendungen mit hohen Positionsanforderungen geeignet ist. Der Maskenausrichter arbeitet, indem er Licht durch die Photomaske hindurchlässt, während ein Teil davon auf das Substrat übertragen wird. Dies wird durch das elektro-optische System von ASML Micralign 300 erreicht, das einen optischen Kopf, eine Laserlichtquelle und einen hochpräzisen Schrittmotor enthält. Der optische Kopf projiziert das Bild an den genau vorgegebenen Stellen, wodurch kein Raum für eine Fehlausrichtung entsteht. Sowohl Maske als auch Substrat sind auf x-stufigen Haltern mit Vakuumeffekt positioniert. Die Steuerung in der Maschine ermöglicht präzise Bewegungen entlang der x- und y-Achse, während z-Achsen-Koordinatenbewegungen ein spezielles Muster von Reliefstrukturen auf dem Substrat erzeugen. Dies führt zu präzisen Schaltungsstrukturen bei Belichtung und Entwicklung des Photolacks. Eine Filtereinheit für sichtbares Licht ist ebenfalls vorhanden, um Fremdlicht herauszufiltern und sicherzustellen, dass nur das gewünschte Spektrum des Kontinuums verwendet wird. Zusätzlich gibt es einen Flüssigkristallbildschirm, der eine detaillierte Ansicht aller Operationen mit überlegener Auflösung bietet. Zu den Sicherheitsaspekten von Micralign 300 gehört eine Vakuum- und chemische Verriegelungsmaschine, die gewährleistet, dass die richtigen atmosphärischen Bedingungen für einen sicheren Betrieb und hochpräzise Drucke aufrechterhalten werden. Dieses Werkzeug wird ferner durch einen in der Nähe des Substratpositionierers angeordneten Sicherheitsphotodetektor ergänzt, um das Erreichen der äußersten Grenze des Bewegungsbereichs zu begrenzen. PERKIN ELMER Micralign 300 ist ein modernes Werkzeug und garantiert hohe Effizienz und Produktivität in jeder Mikroelektronik, medizinischen, biotechnologischen Einrichtung. Seine fortschrittlichen Spezifikationen machen es zu einer perfekten Passform für komplizierte Aufgaben mit hoher Genauigkeit im Photolithographie-Prozess.
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