Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 330HT #128862 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 330HT ist ein hochmodernes Maskenausrichtgerät, das die Submikronausrichtung von Chipelementen auf Muster auf Wafern erleichtert. Dieses System bietet hervorragende Geschwindigkeit, Genauigkeit und Durchsatz, so dass es ideal für Anwendungen wie Photomaskenherstellung, Geräteherstellung, fortschrittliche Lithographie und andere. Die Hauptkomponenten von SVG Micralign 330HT Unit sind der Maskenrahmen, die Brechungsoptik, die Linsenanordnung, der Ausrichttisch und der zweidimensionale (2D) Cross-Engine. Der Maskenrahmen ist mit einer doppelseitigen oder vierseitigen Swing-Modulmaske ausgeführt, die es ermöglicht, mit mehreren Masken an verschiedenen Positionen zu arbeiten. Die brechende Optik sorgt für eine klare, hochauflösende Ansicht der Zielmuster während der Ausrichtung. Die Linsenanordnung ist auch verstellbar, um den besten Fokus der Ausrichtung zu erhalten. Die Ausrichttabelle besteht aus zwei Runden zweidimensionaler Verstellung, die eine genaue Einstellung der Maskenposition ermöglicht, so dass das Zielmuster auf den Wafer ausgerichtet werden kann. Der 2D-Quermotor verwendet ein Paar 2D-Schraffuren und ein Paar bewegliche Stufen mit linearem Encoder, um den Abstand zwischen dem Ziel und dem Wafer zu messen. Der Mask Aligner Controller (MAC) fungiert als Gehirn der Operation, so dass der Benutzer die gewünschten Ausrichtungseinstellungen einfach auswählen und konfigurieren kann. Dieser Controller besteht aus dem Ausrichtungsfenster, das die Position der Maske auf der Bühne anzeigt, und einem Steuerset, das integrierte Funktionen enthält, um eine automatische Ausrichtung mit bis zu 10 Mikrometer Genauigkeit zu gewährleisten. Zusätzlich ist der MAC mit einer Autofokus-Fähigkeit ausgestattet, die den Fokus der Maske auf den gewünschten Punkt für eine optimale Auflösung bringt. Die gängigen Betriebsmodi von ASML Micralign 330HT Maschine umfassen Einzelmaske ausrichten, automatische Ausrichtung auf Wafer, manuelle Ausrichtung auf Wafer und alle drei Modi kombiniert. Im automatischen Ausrichten auf den Wafermodus passen sich beispielsweise die Optimierungsparameter automatisch an, wenn sich der Wafer bewegt. Die Kombination aus einzelnen, automatischen und manuellen Ausrichtungsmodi ermöglicht es Benutzern, mit verschiedenen Auflösungen und Mustern zu arbeiten. Insgesamt ist Micralign 330HT ein sehr vielseitiges Maskenausrichtwerkzeug. Es kann eine Vielzahl von Chip-Elementen mit Genauigkeit und Geschwindigkeit handhaben, so dass es eine ideale Wahl für fortschrittliche Lithographie, Geräteherstellung und Photomasken-Herstellung. Mit einem intelligenten Mask Aligner Controller, einer einstellbaren Optik, einer einstellbaren Objektivbaugruppe und einem zweidimensionalen Cross-Engine kann dieses Asset die Rüstzeit erheblich reduzieren und dennoch hervorragende Ausrichtungsergebnisse liefern.