Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 540 #128869 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 540 ist eine mehrachsige, direkte Beleuchtungsmasken-Aligner-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Wafer- und Chip-Level-Photolithographie-Anwendungen zu bedienen. SVG Micralign 540 verwendet ein mathematisches Modell, um eine benutzerdefinierte Ausrichtung einer Maske auf einen Wafer zu bestimmen. Die Mikroskopstufe kann sich in der vertikalen Ebene nach oben und unten bewegen, links und rechts in der horizontalen Ebene und 360 Grad drehen. Alle diese Achsen können mit der grafischen Benutzeroberfläche einfach gesteuert werden, wodurch eine genaue Registrierung der Maske auf dem Wafer ermöglicht wird. Der Aligner verfügt sowohl über einen einzigartigen vertikalen Beleuchter als auch über ein großes Bildverarbeitungssystem. Die vertikale Beleuchtung verwendet einen einstellbaren Fleck von sichtbarem Licht, um Ausrichtungsmarken auf dem Wafer genau zu erkennen und hilft, eine präzise Registrierung der Maske zu gewährleisten. Die bildgebende Einheit kombiniert ein motorisiertes Objektiv mit einer CCD-Farbkamera, die eine kontinuierliche und konsistente Erkennung von Ausrichtungsmarkierungen und eine klare Abbildung von Merkmalen ermöglicht, um eine genaue Ausrichtung zu gewährleisten. ASML Micralign 540 verwendet eine hochmoderne Dual-Gitter-Autofokus-Maschine zur Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Das Dual-Gitter-Design ermöglicht es dem Mikroskop, sowohl makro- als auch mikroskalierte Abweichungen von der Fokusebene zu erkennen und so die Ausrichtgenauigkeit über möglichst lange Strecken zu gewährleisten. Das Dual-Gitter-Tool verbindet sich mit einem leistungsstarken Autofokus-Controller, um eine präzise automatische Kalibrierung des Fokuspunktes zu ermöglichen und die Ausrichtgenauigkeit weiter zu erhöhen. Zusätzlich zu den oben genannten Merkmalen umfasst die Anlage auch mehrere technische Merkmale, die eine erhöhte Präzision und Wiederholbarkeit fördern, wie einen mechanischen Verschluss zur präzisen Belichtungssteuerung, eine 24-Bit-motorisierte lineare Piezoantriebsstufe und einen optischen Keil zur zuverlässigen Platzierung von Wafern. Micralign 540 ermöglicht es Benutzern, alle Ausrichtungs- und Fokuseigenschaften in Echtzeit zu überwachen und aufzuzeichnen, wodurch eine zuverlässige und messbare Leistung gewährleistet ist. Dieses Modell Mask Aligner kann auch vollständig in eine Prozess-Workflow-Ausrüstung integriert werden, was einen automatisierten Betrieb und einen erhöhten Prozessdurchsatz ermöglicht.