Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #156275 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT ist ein Masken-Aligner zur schnellen und präzisen Ausrichtung von Photomasken auf Halbleiterscheiben im Halbleiterherstellungsprozess. Es eignet sich für Produktionsumgebungen, in denen hohe Genauigkeit und Durchsatz gefordert sind. SVG Micralign 651HT ist ein Wafer-Level-Stepper mit einem 4-Zoll-Sichtfeld, das eine Auflösung von bis zu 1µm Pixelgröße bietet. Es verfügt über einen Maskentransportmechanismus mit einer großen 145mm Maskengröße Fähigkeit. Das Gerät ist mit drei optischen Messsubsystemen ausgestattet, die Bildkontrast, makroskopisches Höhenprofil und Mikroskopfokusposition messen. Es verwendet ein zweiachsiges Bühnensystem, das für die automatische Maskenplatzierung verwendet werden kann und eine schnelle und genaue Ausrichtung mit einer Registrierungsgenauigkeit von 0,7 µm bietet. Ein integrierter Unit Controller verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche und eine benutzerfreundliche Programmiersprache. ASML Micralign 651HT ist für eine Vielzahl von Anwendungen konzipiert, einschließlich Lithographie, optische Verifizierung und Oberflächeninspektion. Es kann auch für Heißprägung und Substratbindung verwendet werden. Die Benutzeroberfläche erleichtert die Programmierung, Speicherung und das Abrufen von Ausrichtungsrezepten für eine effiziente Maskenausrichtung. Die Optik der Maschine ist in einem Luftlagermodul untergebracht, um Verschleiß und Vibrationen zu minimieren, was zu einer glatteren und genaueren Ausrichtung der Wafer führt. Die Hochgeschwindigkeitskamera liefert schnelle Reaktionszeiten und hochpräzise Daten. Seine Optik verfügt auch über einen akustischen Interferenzfilter, um Hintergrundgeräusche bei der Messung kleiner Details zu reduzieren. Das Tool liefert einen hohen Durchsatz mit großer Maskenkapazität, variabler Musterwiederholung und benutzerfreundlicher Programmiersprache. Darüber hinaus kann es einfach in andere Systeme integriert werden, darunter optomechanische Mikroskope und automatisierte optische Inspektionssysteme. Seine sehr wiederholbare Ausrichtgenauigkeit und der geräuscharme Betrieb machen es zu einer idealen Lösung für Produktionsumgebungen.