Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #9399549 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT Mask Aligner ist ein vollautomatisches, computergesteuertes Gerät zur photolithographischen Herstellung von mikroelektronischen Geräten. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von fotolithographischen Maskenmaterialien auszurichten, von Dünnschichtmasken bis zu präzise geätzten Masken. Die Vorrichtung besteht aus einem Maskenausrichtkopf, einer Probenstufe, einem Laserausrichtsystem und einer lichtemittierenden Vorrichtung, die einen Laserstrahl auf die Probe projizieren. SVG Micralign 651HT bietet hohe Auflösung und hohe Geschwindigkeit Ausrichtung von Substraten. Seine zweidimensionale, zweiachsige Ausrichteinheit bietet eine maximale Auflösung von 4 µm in der X- und Y-Achse und ± 2 Bogensekunden Neigung. Es nutzt die Laserausrichtung mit einer Zeigermaschine, einem optischen Elektronenstrahlwerkzeug und einer sichtbaren Zieloptik und hat eine Ausrichtungsgenauigkeit von +/- 2 Mikrometern oder besser. Darüber hinaus bietet das 651HT eine Hochgeschwindigkeitsausrichtung, wobei nur 30 Sekunden für die Strukturierung auf einem Substrat benötigt werden. Das Micralign verwendet virtuelle Ausrichtungsbibliotheken, die Benutzern die Möglichkeit bieten, Substrate und Masken schnell in die Zielposition sowohl in der X- als auch in der Y-Achse zu verschieben. Dieser Vorgang ist mit einer Nahfeldausrichtung gekoppelt, wodurch die Möglichkeit einer Fehlausrichtung verringert wird, indem Positionsfehler erkannt und korrigiert werden. Der Aligner ist in der Lage, Substrate bis zu 200mm Durchmesser mit einer Substratdicke von bis zu 6mm zu halten. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Masken aufzunehmen, von Dünnschichtmasken bis hin zu komplexeren, präzise geätzten Masken. Darüber hinaus unterstützt die 651HT sowohl weiche als auch harte Kontaktausrichtungssysteme, so dass Masken entweder am Rand des Substrats oder an der ebenen Oberfläche ausgerichtet werden können. Dieses Asset ist für den Hochdurchsatzbetrieb konzipiert, und seine pneumatisch gesteuerte Robotik ermöglicht schnelle Shuttle-Zeiten zwischen parallelen Baselines. Aus Komfort ist der Aligner auch mit Industriestandard-Software und Datenbanken kompatibel, wodurch die Verbindung mehrerer Systeme mit zentraler Steuerung erleichtert wird. Zusammenfassend ist ASML Micralign 651HT eine ausgezeichnete Wahl für die Feinstrukturphotolithographie von mikroelektronischen Geräten. Es bietet eine hohe Auflösung, hohe Geschwindigkeit Ausrichtung und ist kompatibel mit einer breiten Palette von Masken. Seine virtuellen Ausrichtungsbibliotheken reduzieren die Fehlausrichtung, während seine pneumatisch gesteuerte Robotik ein effizientes Hochdurchsatzmodell bietet.