Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293619654 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 ist ein Maskenausrichter - eine Maschine zur präzisen Platzierung und Ausrichtung von lithographischen Retikeln bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten. SVG Micralign 700 ist ein vielseitiges Werkzeug, das Masken verschiedener Abmessungen und Merkmale in Halbleiterscheiben ausrichten kann und eine präzise Positionierung und Ausrichtung von Schaltungsmustern ermöglicht. Die Maschine besteht aus einer Kameraeinrichtung zum Abtasten des Retikels und des Wafers, einem bilinearen Ausrichtsystem, einem 6-Achs-Roboter zur präzisen Positionierung und Ausrichtung des Retikels gegenüber dem Wafer und einer Autofokuseinheit für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Abtastvorgängen. Der 6-Achsen-Roboter ermöglicht die manuelle Anordnung von Lithographie-Retikeln in drei zueinander senkrechten Richtungen: X-Y-Z. ASML Micralign 700 hat zwei Scanköpfe, einen für größere Retikel bis zu 10 Zoll (25 cm) und einen für kleinere Masken bis zu 4 Zoll (10 cm). Die Kameramaschine verwendet die Blue Laser Diode (BLD) Bildgebungstechnologie, um die Retikel und die Wafer genau zu scannen und bietet hervorragende SNR (> 300) und eine hohe Drehrate für die Bühne, bis zu 3 Windungen pro Sekunde. Das Autofokus-Tool basiert auf einem Multiplen Belichtungsalgorithmus (MEA) und verwendet ein Z-Achsen-Scanobjekt, um Restbildverzerrungen schnell und genau zu messen. Dies ermöglicht die genaue Platzierung und Ausrichtung der Retikel in Bezug auf den Wafer mit einer Platzierungswiederholbarkeit von < 5 Nanometern. Micralign 700 verfügt auch über ein optionales hydraulisches Spannfuttermodell (HCS), das entworfen ist, um den Wafer während der Ausrichtungsoperationen an Ort und Stelle zu sichern und ein Maß an Stabilität bereitzustellen, das für eine genaue Ausrichtung der Maske in Bezug auf den Wafer wesentlich ist. Der HCS bietet eine einstellbare, werkzeugfreie Lösung zur Befestigung des Wafers ohne zusätzliche Werkzeuge. PERKIN ELMER Micralign 700 ist ein robustes und vielseitiges Werkzeug, das die genaue und wiederholbare Ausrichtung von Retikeln in Bezug auf den Wafer ermöglicht. Die hochgenaue BLD-Kameraausrüstung und das MEA-Autofokus-System der Maschine sorgen für hervorragende Präzision bei Scanvorgängen, während das optionale HCS dafür sorgt, dass der Wafer während des Ausrichtvorgangs fest und sicher bleibt. Mit einer Platzierungswiederholbarkeit von < 5 Nanometern ist SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 ein unverzichtbares Werkzeug für die Herstellung anspruchsvoller mikroelektronischer Komponenten.