Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293827389 zu verkaufen
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 ist ein automatisierter Maskenausrichter zur Herstellung mikroelektronischer Schaltungen. SVG Micralign 700 wurde entwickelt, um Photomasken exakt auf ein Substrat auszurichten und zu belichten, um winzige Komponenten, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, MEMS und anderen mikroelektronischen Geräten verwendet werden, genau zu platzieren. ASML Micralign 700 bietet eine präzise Steuerung einer Reihe von Lithographieparametern, einschließlich X-, Y- und Z-Stufen, OHT-Ausrichtungsausrüstung, optisches System, Autofokus, mechanische Ausrichtung der Spiegelbox, hochauflösende Submikronauflösung; und umfasst fortgeschrittene Bildanalysetechniken zur Verbesserung der Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wirtschaftlichkeit der Mikrolithographie. PERKIN ELMER Micralign 700 besteht aus drei Hauptkomponenten: einer Stufe, einem Controller und einem Softwarepaket mit Messwerkzeugen und Werkzeugen zur Datenanalyse. Die Bühne ist eine Plattform zur Substratpositionierung, bestehend aus einer ultrahochgenauen x-y-4-Achsen-Positioniereinheit, einer Feinneigungsstufe für die OHT-Ausrichtung und einer vertikalen Abtasteinheit für die Submikronauflösung. Der Controller ist eine hochempfindliche PC-basierte Maschine, die benutzerdefinierte anpassbare Einstellungen zur Steuerung von Belichtungseinstellungen, Ausrichtungsverfahren und Bildgebungsparametern ermöglicht. Die Software ist eine Suite von Bildverarbeitungs- und Analysetools, mit denen der Benutzer die Ausrichtungsparameter anpassen, die Belichtungseinstellungen und Bildgebungsparameter steuern kann. Diese Tools können auch zur Analyse von Daten verwendet werden, einschließlich der Rauheit der Kanten, der Chipdichte und des Durchsatzes. Micralign 700 bietet eine verbesserte Genauigkeit von weniger als 5nm für den Belichtungsmodus mit einer Durchsatzrate von bis zu 50 Wafern pro Stunde. Es ist auch in der Lage, eine Ausrichtung mit Programmen wie Line-Edge Roughness (LER) und Wave Dislocation durchzuführen, was zu kritischer Dimension (CD) Gleichmäßigkeit und verbesserter Ausbeute führt. Darüber hinaus kann die Stufe auch das Wafer-Kippen unterstützen, was eine bessere Prozessgleichmäßigkeit und eine verbesserte kritische Dimensionskontrolle ermöglicht. SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 Maske Aligner ist eine ideale Wahl für die Photolithographie für viele Branchen, die eine hohe Genauigkeit Lithographie-Technologie benötigen, wie Mikroelektronik, Automobil, Biomedizin und Unterhaltungselektronik. SVG Micralign 700 ermöglicht Unternehmen herausragende Leistung, Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wirtschaftlichkeit.
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