Gebraucht SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign #9073862 zu verkaufen

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign ist ein Maskenausrichter für die Mikroelektronik. Es ist eine Präzisionsausrichtungseinrichtung, die zur genauen Platzierung und Ausrichtung von Halbleiterlithographiemasken während des Herstellungsprozesses von integrierten Schaltungen und anderen Arten von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist der Kern eines Wafer-Herstellungsprozesses, da es als Rückgrat der Lithographie-Prozesse dient. SVG Micralign besteht aus Tisch, Bühne, optischem System und zwei oder mehr Kameras. Es ermöglicht die Positionierung und Ausrichtung von bis zu fünf unabhängigen Maskenschichten. Zur Erfassung der Abbildungspunkte der einzelnen Maskenschichten wird eine CCD-Kamera verwendet und zur weiteren Ausrichtungsgenauigkeit werden verschiedene Verfahren, wie z.B. Fiducial-Marker, eingesetzt. Die Einheit umfasst ferner eine programmierbare Motorantriebsstufe zur automatisierten Ausrichtung der Maskenschichten. ASML Micralign ist mit fortschrittlichen optischen Werkzeugen wie einer Mikroskop-Objektivlinse, einer telezentrischen Linse und einem polarisierenden Strahlteiler zur präzisen Ausrichtung ausgestattet. Der polarisierende Strahlteiler ermöglicht die gleichzeitige Detektion von zwei Masken mit unterschiedlichen Materialien oder Schichten. Die Mikroskopobjektivlinse dient zur Verstärkung des Bildes und die telezentrische Linse sorgt für einen gleichmäßigen Fokus im gesamten Sichtfeld des Geräts. Micralign bietet eine Vielzahl von Ausrichtungsmodi und berührungslosen Ausrichtungsfunktionen, einschließlich der automatischen Mustererkennung, die CCD-Bilder für schnelle und genaue Null-In-Ausrichtungspunkte verwendet. Durch die schnelle und genaue Ausrichtung der Maskenschichten trägt PERKIN ELMER Micralign dazu bei, die Wiederholbarkeit und Genauigkeit kritischer Registrierungsparameter sicherzustellen. Darüber hinaus bietet SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign Prozess- und Produktivitätsvorteile, einschließlich einer Echtzeit-Ausrichtungsmaschine für schnelle Maskenausrichtung und optisches Feedback für präzise Ausrichtungen. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Positionierungs-, Bildgebungs- und Ausrichtungsfunktionen, um den Prozess effizienter zu gestalten. Insgesamt ist SVG Micralign ein wesentlicher Maskenausrichter für den mikroelektronischen Herstellungsprozess. Es bietet eine Vielzahl von Ausrichtungstools und -funktionen, die eine genaue und wiederholbare Ausrichtung der Maskenebene ermöglichen. Seine wichtigsten Funktionen, einschließlich seiner fortschrittlichen Imaging-Tools, Echtzeit-Tool, sowie Prozess- und Produktivitätsvorteile, machen es zu einem zuverlässigen und unschätzbaren Ausrichtungstool.