Gebraucht TAKATORI NMC 1 #9132183 zu verkaufen

TAKATORI NMC 1 ist ein Masken-Aligner, der darauf ausgelegt ist, mikrofabrizierte Masken exakt und präzise auf Substrate auszurichten. Es wird verwendet, um hochauflösende Merkmale auf Substraten wie Si-Wafern zu mustern und ist in der Lage, bis zu sechs unabhängige Masken gleichzeitig mit Genauigkeit und Präzision bis hin zum Sub-Mikrometer-Niveau zu positionieren und auszurichten. NMC 1 verwendet fortgeschrittene optische Bildgebungs- und Bildverarbeitungstechniken zur Ausrichtung und Positionierung der Masken auf den Substraten. Das bildgebende Gerät besteht aus mehreren optischen Komponenten, darunter einem Strahlteiler, einem Objektiv, einer CCD-Kamera und beweglichen Spiegeln. Der Strahlteiler spaltet das Licht von der Ausrichteinrichtung in zwei Bahnen. Der erste Pfad dient zur Beleuchtung eines Referenzmusters auf der Maske, während der zweite Pfad zur Erfassung eines Bildes eines identischen Musters auf dem Substrat dient. TAKATORI NMC 1 ist in der Lage, kleine Ausrichtungsdifferenzen durch Analyse der relativen Position der aufgenommenen Bilder zu erkennen. Es passt dann automatisch die Bewegung der Spiegel und des Maskenhalters an, um die Maske genau auf das Substrat auszurichten. Die Ausrichtungsgenauigkeit von NMC 1 beträgt etwa 50 Nanometer. Um diese Genauigkeit zu erhalten, ist das System mit einer Umgebungssteuereinheit ausgestattet, um sicherzustellen, dass Temperatur, Feuchtigkeit und Druckniveau während des Betriebs stabil bleiben. TAKATORI NMC 1 ist auch für den Einsatz in Verbindung mit anderen Geräten wie einer Lichtquelle, einem Bewegungsregler und einem Vakuumfutter konzipiert. Die Lichtquelle wird verwendet, um das Referenzmuster auf der Maske zu beleuchten, während der Bewegungsregler und das Vakuumfutter verwendet werden können, um die Maske und das Substrat zu halten und zu bewegen, um eine genaue Ausrichtung zu gewährleisten. Neben der genauen und präzisen Positionierung von Masken auf Substraten bietet NMC 1 auch einige zusätzliche Funktionen wie die Maskenregistrierung und die Fähigkeit, die Verzerrung von Maskenmustern zu messen. Es verfügt auch über einen manuellen Modus zur manuellen Einstellung der Ausrichtungsparameter. Insgesamt ist TAKATORI NMC 1 ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der Präzision und Genauigkeit bis zum Sub-Mikrometer-Niveau bietet. Es ist so konzipiert, dass es in Kombination mit anderen Geräten wie Lichtquellen, Bewegungsreglern und Vakuumfuttern eingesetzt werden kann, um eine präzise Ausrichtung von mikrofabrizierten Masken auf Substrate zu erreichen. Die Umgebungssteuermaschine sorgt dafür, dass Temperatur, Feuchtigkeit und Druckniveau während des Betriebs stabil gehalten werden, während zusätzliche Funktionen wie Maskenregistrierung und Messung von Musterverzerrungen es Anwendern ermöglichen, die Ergebnisse weiter zu optimieren.