Gebraucht TAMARACK 162 #9214870 zu verkaufen
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TAMARACK 162 ist eine automatisierte Ausrichtstufe für Photolithographieverfahren, die in der Forschung und Mikrofabrikation eingesetzt werden. Es ist ein vollautomatischer, hoher Durchsatz, Präzisionsmasken-Aligner, der sich ideal für einstufige Prozesse und für mehrere Masken eignet. 162 besteht aus mehreren Hauptkomponenten, die seine Maskenausrichtung Präzision und Zuverlässigkeit ermöglichen. Zu den Hauptkomponenten gehören eine einzige Maskenbühne, eine Feinstufe, eine Rahmenauswahlstufe, eine hochpräzise Bewegungssteuereinrichtung und ein Koronagraph. Die einzelne Maskenstufe unterstützt bis zu 10 flache Masken, während die feine Stufe eine 1-Grad-Granularität aufweist. Die Rahmenauswahlstufe ermöglicht eine genaue Positionierung von Wafern oder Substraten auf dem Maskentisch. Das Bewegungssteuerungssystem ermöglicht die genaue Ausrichtung von Probe und Maske mit Submikron-Präzision. Der Coronagraph ist das deutlichste Merkmal von TAMARACK 162. Es verfügt über eine patentierte Lasereinheit und eine fortschrittliche bildgebende Technologie, die eine interne Kalibriermaschine verwendet, um das Maskenmuster auf dem Wafersubstrat zu lokalisieren, und einen bildgebenden Prozess, der vier Kameras verwendet, um das Maskenmuster auf das Substrat zu projizieren. 162 ist sehr kompatibel mit verschiedenen Arten von Anwendungen, einschließlich SU-8, Silizium, Polyimid und Quarz. Es bietet auch eine komplette Suite von Messtechnik und Prozesskontrolle, einschließlich genauer Positionierungsmessungen, Hochgeschwindigkeitsbildverarbeitung und die Fähigkeit, den Prozess zu überwachen und Änderungen vorzunehmen, wenn erforderlich. Es ist hochgenau und reproduzierbar, aufgrund seiner hohen Präzision Bewegungssteuerungswerkzeug und Koronagraph. Es reduziert auch die Kosten, da es sich um einen einstufigen Prozess handelt, und es kann mehrere Masken effizient verarbeiten. TAMARACK 162 ist eine ideale Auswahl an Geräten für die Forschung oder industrielle Mikrofabrikation. Es erleichtert schnellere und präzisere Prozesse und bietet eine verbesserte Qualitätskontrolle über die Ergebnisse.
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