Gebraucht TAMARACK 191 #9181537 zu verkaufen

TAMARACK 191 ist ein Masken-Aligner für den Einsatz mit Retikeln. Es ist ein leistungsfähiger zweistufiger Positionierer mit einer Mindestschrittweite von 0,5 m und einer Mindestüberlagerung von 0,25 m. Die Hauptfunktion von 191 besteht darin, eine genaue optische Photolithographie zu erreichen. Es verwendet fortschrittliche Sensormechaniken, um Daten von den ausgerichteten Retikeln genau auf die Waferstufe zu übertragen, um Komponenten auf dem Wafer herzustellen. Eine Reihe von optischen Sensoren arbeiten in Verbindung mit dem Muster, um eine präzise Ausrichtung vor der Belichtung zu gewährleisten. Dies beinhaltet eine Kombination aus Infrarotlaser, interferometrischer Messung und digitaler Bildgebungstechnologie, um die Genauigkeit der Ausrichtung zu erfassen und eine Rückkopplung der Ausrichtungskorrektur auf den Maskenausrichter zu ermöglichen. Der Benutzer kann Parameter wie Retikelgröße, Ausrichtungsgenauigkeit, Neigung und Neigung sowie Belichtungseinstellungen steuern. Dies ermöglicht eine exakte Anpassung der Retikel an die fein abgestimmten Prozessanforderungen. Das System beinhaltet auch einen 25-positionierten Auto-Indexer, ein Roboterarm, der die Kapazität für eine Reihe von Zwei-Stufen-Positionen hat und automatisch zwischen zwei Retikeln austauschen kann. Es bietet hohe Geschwindigkeit, Wiederholbarkeit und Genauigkeit des Ausrichtungsprozesses. Darüber hinaus ist TAMARACK 191 mit einem Autofokus-System ausgestattet, das mehrere Bildverarbeitungsalgorithmen verwendet, um die kleinsten Funktionen genau zu erkennen. Es ist in der Lage, sich auf Mustermerkmale bis zu 0,5 m zu konzentrieren. 191 kann auch mit vielen verschiedenen Substraten wie Si, GaAs, LiNbO3, GaN und GaP verwendet werden und kann Temperaturen bis zu 300 ° C bewältigen. TAMARACK 191 ist eine ausgezeichnete Wahl für die Herstellung von Geräten mit hoher Ausbeute, hoher Präzision und hohem Durchsatz. Mit seiner hohen Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Automatisierungsfähigkeit ist es das perfekte Werkzeug für High-End-Produktionsläufe.