Gebraucht TAMARACK 191 #9237954 zu verkaufen

Hersteller
TAMARACK
Modell
191
ID: 9237954
Mask aligner.
TAMARACK 191 ist ein fortschrittlicher Masken-Aligner zur Verarbeitung und Herstellung von integrierten Schaltungen, bei dem Schichten von Photomasken mit Mustern zur Verdrahtung, Transistor und anderen Mustern auf einen Wafer übertragen werden. 191 aligner verwendet für seine Maskenhomogenität ein Belichtungsgerät. Dieses System besteht aus einer 157nm Argonfluorid-Excimer-Laserlichtquelle, einer Abbildungseinheit, einer Drehstufe und einer Ausrichtmaschine. Das Belichtungswerkzeug umfasst einen 157nm Wellenlängen-Argon-Fluorid-Excimer-Laser, der zur Erzeugung von UV-Licht verwendet wird, das zur Belichtung des Wafers mit Photomasken verwendet wird. Der Laser ist ein luftgekühlter Kaltraumlaser mit einer 6kW Pulsleistung, der gleichmäßige Lichtintensität über den gesamten Wafer erzeugt. Das bildgebende Gut besteht aus einer doppelten Multidüsenlinse mit einer numerischen Apertur von 0,50 und einem Auto-Korrelationsalgorithmus, der verwendet wird, um Muster auf den Photomasken mit zugrunde liegenden Mustern auf dem Wafer zu vergleichen. Die mittlere Drehstufe ermöglicht es dem Wafer, 360 Grad zu drehen, um die Photomasken auf die Zielmuster auf dem gebildeten Wafer auszurichten. Die Bühne ist hochgenau bewegbar und kann sich sowohl in der x- als auch in der y-Achse präzise und wiederholbar bewegen. Das Ausrichtungsmodell ist für die Ausrichtung oder Platzierung des Photomaskenmusters auf das zugrunde liegende Wafermuster verantwortlich. Es verfügt über einen fortschrittlichen Affin-Transformations-Algorithmus, der die genaue Platzierung jeder Photomaskenschicht auf dem Wafer unterstützt. TAMARACK 191 ist ein effizienter und präziser Maskenausrichter, ideal für die Serienfertigung integrierter Schaltungen. Es verfügt über eine hohe Laserintensität, bildgebende Präzision und Ausrichtungsgenauigkeit, so dass es für komplexe Fertigungsprozesse mit einem großen Volumen von integrierten Schaltungen geeignet ist.
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