Gebraucht USHIO UX-4240 #9364547 zu verkaufen

USHIO UX-4240
Hersteller
USHIO
Modell
UX-4240
ID: 9364547
Wafergröße: 2"-6"
Aligner, 2"-6".
USHIO UX-4240 ist ein Top-of-the-Line-Masken-Aligner, der für die Photolithographie in der Halbleiterchip-Produktion verwendet wird. Es ist ein hochgenaues und zuverlässiges Werkzeug mit einer Vielzahl von Anwendungen im Chipherstellungsprozess. Das Gerät nutzt Präzisionsoptiken und mikromechanische Systeme, um hochauflösende Muster exakt auf lichtempfindliche Oberflächen zu belichten. USHIO UX 4240 wird hauptsächlich zur Strukturierung integrierter Schaltungen auf Substraten wie Siliziumscheiben, Flüssigkristallanzeigen und Photomasken verwendet. Es verfügt über eine breite Palette von benutzerfreundlichen Funktionen, darunter ein leicht lesbares digitales Display, ein Joystick-Steuersystem und eine wählbare Wafer-Heizstation. Seine Hauptvorteile sind eine hohe Ausrichtgenauigkeit von bis zu 0,2 µm, eine tiefe UV-Lichtquelle und ein Infrarotlaser zur Maskeninspektion. Das Gerät verwendet eine dreiachsige Positionierstufe, um die Medienoberfläche genau zu scannen und zu belichten. Die Bühne arbeitet in einem geschlossenen, automatischen Fokussiermodus, um sicherzustellen, dass die Masken genau positioniert und belichtet werden. Die Maschine wird vom Onboard-Controller gesteuert, der dem Benutzer Zugriff auf eine Vielzahl von Parametern und Einstellungen gibt. Das Werkzeug verwendet einen Pentaprisma-Beleuchter, der einen Ultrahochdruck-Quecksilberbogen verwendet, um eine saubere und stabile Lichtquelle bereitzustellen. Der Vermögenswert ist auch in der Lage, dünne Filme und andere Materialien mit einer erheblichen Einheitlichkeit abzulegen. Darüber hinaus hilft es, eine hohe wiederholbare Genauigkeit zu gewährleisten und gleichzeitig den Schatteneffekt zu adressieren, der auftreten kann, wenn mehrere Kameras und Objektive um dieselbe Lichtquelle konkurrieren. Hinsichtlich der Sicherheitsmerkmale ist das Modell mit verschiedenen Sicherheitsmerkmalen, wie einem Verschluss, ausgelegt, um zu verhindern, dass Streulicht in die Kammer eindringt, um sowohl das Material als auch den Bediener vor Schaden zu schützen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein System zur Steuerung der Druckniveaus in der Kammer, um Schäden an der Ausrüstung zu vermeiden.
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