Gebraucht USI PV480 #9183256 zu verkaufen

Hersteller
USI
Modell
PV480
ID: 9183256
Spray coater.
USI PV480 ist ein Maskenausrichter, der für photolithographische Anwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist eine Hochdurchsatzmaschine, die Laserinterferometrie mit fortschrittlicher Kantenerkennung und Genauigkeitskontrolltechnologie verwendet. PV480 Maskenausrichter verwendet einen Linearmotor als zugrundeliegendes Design, das für eine feinere Ausrichtung großer Plattensubstrate bei längeren Belichtungszeiten ausgelegt ist. Der Masken-Aligner ist außerdem mit einem integrierten Futtertisch ausgestattet, der groß genug ist, um sowohl 6 als auch 8 Zoll-Wafer unterzubringen. Diese Größe ermöglicht es USI- PV480, große Substrate wie Flachbildschirme zu behandeln. PV480 kompensiert rechnerisch Ebenheitsschwankungen, indem die Kanten von Substraten erkannt und dann die x, y und θ Achsen des Lasers entsprechend synchronisiert werden. Dadurch bleibt das Substrat während der gesamten Bearbeitungszeit perfekt ausgerichtet. Seine Kantenerkennungsfähigkeiten erkennen auch Verunreinigungen wie Partikel und Staub und korrigieren die Substrate automatisch für eine gleichmäßige Belichtung. USI PV480 bietet einen fortgeschrittenen Punkt-zu-Punkt-Algorithmus zum präzisen kontinuierlichen Scannen und Abbilden der Position und des Winkels jeder Belichtung. Es ist in der Lage, eine Belichtungsgenauigkeit von +/-3 μ m über die gesamte Feldkomplexität von 600 x 600mm zu liefern. PV480 verfügt über eine langlebige Xenonlampe mit einem für die Photolithographie optimierten Ausgangsspektrum. Sein niedriger Stromverbrauch, niedrige Wartung und fortgeschrittene Hitzeverwaltungstechnologien sichern zuverlässige Operation unter der Großserienproduktion. USI PV480 mask aligner kommt mit einem intuitiven Softwarepaket für die Rezeptentwicklung, das Tools enthält, um den Aligner schnell von der Benutzeroberfläche aus zu programmieren, anzupassen, zu überwachen, zu steuern und zu beheben. Es verfügt über einen anpassbaren Maskeneditor, um einfach Maskenmuster zu entwerfen und zu überprüfen. Abschließend ist PV480 Masken-Aligner eine fortschrittliche Hochdurchsatzmaschine, die sich ideal für große Photolithographie-Anwendungen wie die Flachbildschirmproduktion eignet. Mit seinen Kantenerkennungsfunktionen, einer einheitlichen Belichtungskorrektur und präzisen Scanfunktionen ist es in der Lage, hochauflösende, genaue Ergebnisse mit minimaler Variabilität zu liefern.
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