Gebraucht VISION PRECISION GA 16 #9262207 zu verkaufen

VISION PRECISION GA 16 ist ein Masken-Aligner zur Herstellung von Wafer-Level-Geräten wie integrierten Schaltungen, Speicherchips, bildgebenden Sensoren und vielen anderen miniaturisierten Technologien. Das Gerät verwendet die Photolithographie, um Muster aus einem mit Photolack beschichteten Silizium-Wafer auf eine Silizium-Master-Maske oder „Aligner“ zu replizieren. Es verwendet zwei leistungsstarke Rotlicht-Laserstrahlen, die von einer fasergekoppelten Laserquelle stammen und flexible optomechanische Komponenten zur präzisen Strukturierung und gleichmäßigen Steuerung der Belichtung auf der Maskierungsschicht durchlaufen. Das Laserlicht kann auf verschiedene Wellenlängen eingestellt werden, was eine höhere Auflösung und höhere Durchsatzraten ermöglicht. GA 16 bietet eine außerordentliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit in seinem Ausrichtungsprozess mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von ca. 25nm. Diese Präzision ist zehnmal besser als die herkömmliche Photolithographie-Methode und ermöglicht die Erstellung komplizierterer Mikrogeräte. Das System verfügt auch über eine automatische Wafer-Positioniereinheit, die ein automatisiertes Mikroskop und eine fiducial-Erkennung verwendet, um den Wafer genau auf die Maske auszurichten. Es enthält auch eine Reihe fortgeschrittener optischer Elemente, die eine Anpassung der Strahlparameter an komplexe Musterbedürfnisse ermöglichen. VISION PRECISION GA 16 nutzt auch einen Retikelträger mit variabler Neigung für die Feinabstimmung der Genauigkeit. Dieser Träger erleichtert eine genaue, schrittweise Registrierung der Maske auf dem Wafer. Eine Reihe von mehrstufigen Optiken verfeinern die Licht- und Musterauflösung und eine spezielle Filtermaschine ermöglicht einen schnellen Schutz der Optik vor Verunreinigungen. Das Belichtungsverfahren beinhaltet fotooptische Drehverschlüsse mit hoher Genauigkeit, die eine weitere Einstellung der Belichtung ermöglichen. GA 16 ist ein effizienter, anspruchsvoller und zuverlässiger Maskenausrichter, der in der Lage ist, in einem automatisierten Modus mit minimaler menschlicher Interaktion zu arbeiten. Seine Eigenschaften ermöglichen eine präzise und kostengünstige Herstellung von Mikrogeräten und bieten Herstellern viele komfortable Funktionen, die die Musterreplikation im Mikromaßstab zu einer einfachen und fehlerfreien Aufgabe machen.