Gebraucht TAMARACK 142 #9214869 zu verkaufen
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TAMARACK 142 ist eine modulare Maskenerzeugungs- und Produktionsausrüstung, die für die Hochleistungs-Wafer-Lithographie entwickelt wurde. Das System besteht aus mehreren Modulen, darunter einer automatisierten Belichtungseinheit, einer automatisierten Lithographieoptimierungsmaschine, einem automatisierten Waferausrichtwerkzeug und einer automatisierten Maskenprüfanlage. Das automatisierte Belichtungsmodell enthält einen Satz mehrerer Hochleistungs-Laserdioden und eine Laser-Brennweite-Steuereinrichtung. Dadurch kann das System eine Vielzahl von Belichtungsparametern und wiederholbaren Belichtungen mit hoher Ausbeute bereitstellen. Die automatisierte Lithographie-Optimierungseinheit ist in der Lage, eine Reihe von vorbestimmten Messvorgängen durchzuführen, um Lithographieprofile zu optimieren, die zur Erreichung der gewünschten Merkmale erforderlich sind. Die automatisierte Wafer-Ausrichtmaschine ist mit Standard-, berührungslosen und Vakuum-Ausrichtungssystemen integriert, um eine wiederholbare und genaue Waferausrichtung zu gewährleisten. Das automatisierte Maskenprüfgerät verwendet eine Kombination von bildgebenden Technologien, einschließlich SEM und Röntgenbildgebung, um die Masken genau auf Fehler und Variationen zu überprüfen. Das Asset wurde auch mit einem fortschrittlichen Automatisierungs- und Steuerungsmodell entwickelt, mit dem Benutzer Maskendesigns hochladen, die Belichtungsparameter steuern und die Lithographie- und Waferausrichtungsprozesse optimieren können. Darüber hinaus ermöglicht die Anlage eine Echtzeitüberwachung aller Prozessschritte und liefert detailliertes Reporting zur weiteren Analyse. Insgesamt bietet dieses System einfach zu bedienende, zuverlässige und wiederholbare Prozesse zur Herstellung von Masken mit High-Fidelity-Lithographie und Ausrichtung. Dieses Gerät bietet eine effiziente und kostengünstige Lösung für die Herstellung von fein definierten, hochwertigen Masken für die Erzeugung und Produktion.
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