Gebraucht ADE / KLA / TENCOR CR-81 #9102576 zu verkaufen

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ID: 9102576
Inspection system.
ADE/KLA/TENCOR CR-81 ist eine fortschrittliche, ereignisgesteuerte Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung für die Halbleiter- und integrierte Schaltungsherstellung. Es ist in der Lage, Fehler auf kritischen Filmschichten auf Wafern und Masken mit beispielloser Geschwindigkeit und Genauigkeit zu messen und zu analysieren. Das System umfasst drei Technologien von drei führenden Namen in der Branche: ADE (Advanced Defect Evaluation), KLA (TENCOR) und ADE/KLA/TENCOR (TEM Imaging). Diese Kombination vereint erweiterte Fähigkeiten für die Masken- und Waferinspektion, die über die Bildgebung hinausgehen und kleinere Defekte, Fremdpartikel und sogar versteckte Defekte anhand der Rohbilddaten erkennen. ADE CR-81 nutzt spezialisierte Scanelektronenmikroskopie (SEM) -Kameras, um atemberaubend detaillierte 3D-Bilder der Oberfläche des Wafers oder der Maske zu erzeugen. Dadurch können Oberflächen- und Unterflächenfehler erkannt werden, die unterhalb der Auflösung der meisten anderen Inspektionssysteme liegen. Das Gerät führt eine Fehleranalyse mit fortschrittlichen Algorithmen durch, die verdächtige Formen und Muster in den 3D-Bilddaten automatisch identifizieren und zur weiteren Inspektion kennzeichnen können. An jedem Punkt des Prozesses kann der Bediener manuell steuern und die gekennzeichneten Fehler weiter analysieren. KLA CR-81 ist in einen Inspektionsroboter integriert, der es ihm ermöglicht, große Chargen von Wafern oder Masken autonom zu überprüfen. Dadurch erhöht sich die Effizienz des Bedieners im Vergleich zu manuellen Systemen. Zusätzlich zu den oben genannten Funktionen verfügt die Maschine über integrierte Software-Tools zur Fehlerisolierung und -analyse. Dies hilft Ingenieuren, die Ursache des Defekts zu verstehen und Korrekturmaßnahmen schnell umzusetzen, um sie in Zukunft zu beseitigen. Abschließend ist TENCOR CR-81 ein unglaublich leistungsfähiges und fähiges Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug. Seine Kombination aus fortschrittlicher Erkennungstechnologie und integriertem Roboter ermöglicht es ihm, selbst Defekte im Mikromaßstab schnell und genau zu erkennen. Mit seiner Fähigkeit, die Quelle für diese Fehler schnell zu isolieren und zu analysieren, ist CR-81 ein unschätzbares Werkzeug in einer Vielzahl von Prozessen zur Herstellung integrierter Schaltungen.
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