Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200 #9280961 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200
ID: 9280961
Wafer inspection systems 2001-2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass 200 ist eine umfassende Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung, die Charakterisierung von fortgeschrittenen Strukturen bis zu Abmessungen von 0,25 µm bietet. Dieses System ermöglicht eine hochpräzise optische Inspektion mit seiner hochauflösenden Bildgebungsfähigkeit und bietet eine hervorragende Fokustiefe und Kantenauflösung. Es ist eine integrierte Lösung mit einer Reihe von Software-Tools, die eine schnelle Einrichtung und optimierte Prozesssteuerung für verschiedene Musterprüfaufgaben ermöglichen. Es integriert sich in die branchenübliche Allegro Maskeninspektionssuite und bietet einen effizienten Durchsatz von bis zu 200 Wafern pro Stunde. Das Gerät ist für eine Reihe von kritischen Messungen wie Overlay-Ausrichtung und Lithographie-Validierung ausgelegt. Es verwendet fortschrittliche CCD- und Laserdiodentechnologie für Wafer-Optionen und videoausrichtende Laser für die Maskenausrichtung, die reibungslose und zuverlässige Musterinspektionsergebnisse gewährleistet. Die Maschine profitiert auch von den hochpräzisen mechanischen Komponenten und der Vollautomatisierung, die für wiederholbare Ergebnisse sorgt. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Anforderungen des Kunden erfüllt sind. Darüber hinaus bietet AMAT Compass 200 eine Paragon-Mustererkennung für komplexere Strukturen wie Kontaktlöcher, Vias und Linien innerhalb des Maskenmusters. Diese Funktion ermöglicht die integrierte, regelbasierte Erkennung der individuellen Eigenschaften der einzelnen KEs und ermöglicht die Messung ihrer Größen und Abstände. Dies reduziert die Zeit und den Aufwand des Inspektionsprozesses und erhöht die Genauigkeit. Das Tool verfügt auch über das 3D-Bildverarbeitungsmodul, das eine überlegene Tiefenextraktionsgenauigkeit und eine verbesserte Qualitätskontrolle bietet. Dies sollte dazu beitragen, die Anzahl der Mängel oder Nacharbeiten zu reduzieren. Darüber hinaus wird es durch eine umfangreiche Bibliothek mit vordefinierten CD-Variationen und Prozessknoten für eine effiziente Maskenprüfung unterstützt, die zu Zeitersparnis und genauen Ergebnissen beiträgt. Die umfassenden Softwarelösungen und Hardwarefunktionen von APPLIED MATERIALS Compass 200 Masken- und Waferinspektionsbestandteil sorgen für hochpräzise Ergebnisse bei schnellen Inspektionsgeschwindigkeiten. Dies ist für ihre Kunden von Vorteil, da es eine genaue Lithographie-Validierung und verbesserte Workflows für die Prozesssteuerung gewährleistet.
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