Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #293607489 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293607489
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Wafer inspection system, 12"
Z-T Assembly
ATOC Wave generator
NT1
NT2
AOD1
Tube1
Tube2
Tube3
Tube4
(6) Detectors
ASYST Robot
Bilz controller
Laser controller
Laser head
Shutter wheel
Lambda 2 module assembly
Objective slider
IDP Motor wiring
Continuous filter
D-Link
Review head
Mask motor
Missing parts:
FI Power supply
FI Computer HDD
RF Amplifier
ACS
LFS
NT3
OM Lamp house
Stage cable (One-axis)
Stage controller
Chiller
Console main computer
Repl unit servo assembly
Rocket port
Hub
Power supply: PBC Servo
(4) Detectors
NT3
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 ist eine hochauflösende Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Dieses System bietet eine luft- und fokussierte Abbildung von Waferproben mit einer genauen und zuverlässigen Methodik und schnellen Aufnahmezeiten für komplette Inspektionen. Das Gerät eignet sich für eine Vielzahl von Inspektionsszenarien, wie die automatisierte Inspektion von fab-Parametern und CRM-Inspektion. AMAT Compass Pro 300 beinhaltet einen Controller, einen Schrittmotor und eine Bewegungssteuerungsstufe sowie ein benutzerfreundliches Touchpanel-Display für einfache Bedienung. Es bietet auch einen hochleistungsdiodengepumpten Festkörperlaser (DPSS) mit einem breiten Wellenlängenbereich von 370 bis 1050 nm und einer hohen Wiederholrate von 10 kHz. Die 2 x 2 „oder 4 x 3“ Sichtfelder kombinieren mit PIN-Diode und IRCCD-Kamerasensoren, um eine fokussierte Bildgebung mit Auflösungen bis zu 1 μ m zu ermöglichen. Darüber hinaus bieten die CCD-Kameras 256 Graustufen und 4 ms Belichtungszeiten im vollen Feld. Die Maschine verfügt über einen automatisierten Mehrfachlaufmodus, um genaue und wiederholbare Parameterabtastungen zu gewährleisten, während das aktive Beleuchtungssteuerwerkzeug einstellbare Betriebsparameter wie Laserleistung und Abtastgeschwindigkeit ermöglicht. Software-Optionen umfassen sowohl manuelle als auch automatisierte Steuerungsmodi sowie eine automatisierte Fehlererkennung und Klassifizierung, um schnelle und genaue Inspektionsergebnisse zu liefern. Das Modell ist auch mit einer optionalen DLI-Probenstufe (Die-Level-Inspection) ausgestattet, die die Möglichkeit bietet, Bauteile auf Stempelebene mit Leichtigkeit zu überprüfen. Die DLI-Ausrüstung umfasst die Automatisierung der Probenhandhabung, die automatisierte Zentrierung der Waferstufe und die Oberflächenverfolgung sowie Autofokus- und Fehleranalyse auf Stempelebene. Darüber hinaus kommt APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 mit einer Vielzahl von Zubehör, einschließlich Objektiv und Filtertürme zur Erzeugung von SV-Bildern mit hohem Polarisationskontrast, einem Frontend-Objektiv, einem Strahltaster, einem Dämpfer und einer optionalen thermischen Platte. Dieses System ist in einer Schutzatmosphäre-Version erhältlich, die zur Inspektion kritischer Komponenten unter kontrollierter Atmosphäre geeignet ist. Compass Pro 300 ist eine benutzerfreundliche Einheit, die präzise und zuverlässige Ergebnisse bei der schnellen und genauen Inspektion von Masken und Wafern liefert. Es ermöglicht eine Vielzahl von Inspektionsszenarien, mit optionaler Stempelprüfung und einer Reihe von Zubehör, alles in einer kompakten Maschine, die in bestehende fab Umgebungen passt. Die hochauflösende Bildgebung, schnelle Akquisitionszeiten und automatisierte Prozesssteuerung machen dies ideal für eine Vielzahl von Inspektionsanforderungen und verspricht, die Inspektion kritischer Komponenten zu revolutionieren.
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