Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Complus 3 #9353217 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Complus 3
ID: 9353217
Darkfield inspection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Complus 3 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterherstellung. Es ist ein umfassendes System zur Inspektion und Messung von IC-Masken und Wafern, bevor Chips hergestellt werden können. Die Einheit besteht aus einer Wafer-Inspektionsstation, einer Ausrichtmaschine, einem Subsystem und einem Hostcomputer zur Datenabwicklung, Analyse und Berichtsgenerierung. Das Werkzeug verfügt über ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (SEM) zur hochauflösenden Abbildung der Masken- und Waferoberflächen. Es wird verwendet, um 2D- und 3D-Bilder von IC-Masken und Wafern zu erstellen. Die Anlage verwendet eine Kombination aus automatischen und manuellen Werkzeugen, um sowohl physische Fehler als auch nicht-visuelle Eigenschaften von Masken- und Waferoberflächen zu überprüfen. Die Wafer-Inspektionsstation scannt die Oberfläche jedes Wafers und erfasst hochauflösende 3D-Bilder. Dies ermöglicht eine genaue Beurteilung von Oberflächenmängeln, wie Maskenfehler, Fehlstellungen und andere Mängel. Das Ausrichtungsmodell verfügt über eine automatisierte motorgetriebene Stufe, die den Wafer zur genauen Inspektion an einem Beispielansichtsanschluss ausrichtet. Das Subsystem verfügt über eine Reihe von Funktionen, darunter hochauflösende Bildvergleiche, erweiterte Schattierungskorrektur und nicht visuelle Fehlerinspektionsalgorithmen. Mithilfe fortgeschrittener Bildanalyse-Algorithmen kann das Gerät Oberflächenfehler erkennen, melden und kategorisieren. Es kann zur automatisierten Klassifizierung und Schweregrad von Fehlern sowie zur manuellen Beurteilung der Größe, Form und Art des Fehlers verwendet werden. Darüber hinaus bietet das System erweiterte Berichtsfunktionen mit der Möglichkeit, die Ergebnisse in einer sicheren Datenbank zu speichern und zu analysieren. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von automatisierten Funktionen, wie automatisierte Bühnenbewegungen, Steuerung der Lichtintensität, automatisierten Suchmodus und Export von Bildern und Testergebnissen an externe Standorte. Dies ermöglicht einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Zuverlässigkeit bei der Inspektion von Masken- und Wafersubstraten. Insgesamt ist AMAT Complus 3 eine leistungsstarke und umfassende Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine für den Einsatz in der Halbleiterproduktion. Seine hochauflösenden Bildgebungsfunktionen, automatisierten Tools und erweiterten Datenanalyse-Funktionen machen es zu einem wirksamen Werkzeug zur Überwachung der Qualität von IC-Masken und Wafern, bevor sie zu Chips hergestellt werden können.
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