Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Complus MP #293704418 zu verkaufen

ID: 293704418
Weinlese: 2004
Darkfield inspection system 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Complus MP ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionsprüfung von Photomasken und Wafern entwickelt wurde. Das fortschrittliche Optiksystem, digitale Bildsensoren mit hoher Auflösung und automatisierte Prozessüberwachung ermöglichen es Waferherstellern, die höchsten Werte der Fehlererkennung und -klassifizierung zu erreichen. AMAT Complus MP-Einheit besteht aus einer Scanmaschine, Treiberelektronik, optischem Werkzeug, Bildsensor und Software. Das Scanobjekt besteht aus einem hochpräzisen Stufen- und Antriebsmodell. Es ermöglicht dem Gerät, den gesamten Wafer sowohl im 3-Achsen- als auch im 6-Achs-Scan-Modus schnell zu scannen. Die Treiberelektronik verarbeitet dann die elektrischen Signale vom Bühnenantrieb, um Merkmale auf dem Wafer genau zu lokalisieren und zu messen. Das Optiksystem der Unit APPLIED MATERIALS Complus MP enthält mehrere Linsenelemente, einschließlich einer telezentrischen Linse. Dieses Design sorgt dafür, dass das gesamte Licht, das durch die Linse tritt, die gleiche Intensität hat und hilft, Linsenverzerrungen zu beseitigen. Dies führt in Kombination mit den hochauflösenden digitalen Bildsensoren zu überlegenen Bildgebungs- und Fehlererkennungsfunktionen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Reihe von Prozessüberwachungsfunktionen, die es Waferherstellern ermöglichen, sicherzustellen, dass ihre Prozesse effizient und branchenüblich sind. Das Tool ist in der Lage, Überlagerungsleistung, Overlay-Fehler, Bildqualität und andere Prozessmetriken in Echtzeit automatisch zu verfolgen. Es bietet auch detaillierte Berichte über Fehler wie Form, Größe und Ort, die verwendet werden können, um Ursachen von Fehlern zu identifizieren. Insgesamt ist Complus MP Asset ein äußerst zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das fortschrittliche proprietäre optische und bildgebende Technologien mit automatisierter Prozessüberwachung kombiniert, um Herstellern überlegene Fehlererkennungs- und Klassifizierungsmöglichkeiten zu bieten. Seine hohe Geschwindigkeit Scannen und Bildauflösung ermöglichen einen größeren Durchsatz und schnellere Zykluszeiten. Seine Prozessüberwachungsfunktionen stellen sicher, dass Waferprozesse konform und effizient sind, während seine detaillierten Fehlerverfolgungs- und Berichtsfunktionen dazu beitragen, die Ursachen von Fehlern zu identifizieren. Als solche, AMAT/APPLIED MATERIALS Complus MP Ausrüstung ist eine ausgezeichnete Wahl für jede Wafer-Fertigungsoperation, die hochpräzise Inspektionsmöglichkeiten erfordert.
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