Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Excite #9214619 zu verkaufen
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ID: 9214619
Weinlese: 2001
High speed particle detection system
Bare wafer / Patterned wafer inspection
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Excite ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um kostengünstige, hochleistungsfähige Lithographielösungen für die fortschrittliche Halbleiterherstellung bereitzustellen. Das System verfügt über einen hochmodernen Maskeninspektionsalgorithmus, kombiniert mit leistungsfähiger Hardware und Software, um die Genauigkeit zu verbessern und Fehlalarme zu reduzieren. Die Hardware des Geräts besteht aus einer Vollfeld-MEMS-basierten Projektionslupe, einem Laserinterferometer und einem hochauflösenden optischen Mikroskop mit telezentrischem Beleuchter. Diese leistungsstarke Kombination sorgt für eine schnelle und zuverlässige Inspektion der komplexesten Masken- und Wafer-Designs. Darüber hinaus umfasst die Maschine einen einzigartigen Frame-Synchronisationsprozess, der den äußersten Rahmen jedes Wafers und jeder Maske synchronisiert, wodurch die manuelle Einstellung der Scanposition entfällt. Die Software des Tools nutzt die Hardwarefunktionen und bietet eine breite Palette von Funktionen, einschließlich fortschrittlicher Fehlererkennungsalgorithmen und statistischer Algorithmen für Musterfehler. Das Asset verwendet die Lichtsignalverarbeitung, um Bilddaten mit Profil- und Signalverarbeitungsalgorithmen zur Inspektion von Mustern und Funktionen bis zu einer Größe von 50 Nanometern zu kombinieren. Das Modell bietet auch erweiterte Datenverwaltungs- und Berichtsfunktionen, die eine vollständige Rückverfolgbarkeit von Fehlern und Inspektionsergebnissen ermöglichen. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche von AMAT Excite vereinfacht den Überprüfungsprozess und ermöglicht es Benutzern, Fehler schnell und einfach zu erkennen und zu analysieren. Dadurch entfällt die manuelle Überprüfung, was zeitaufwendig und teuer sein kann. ANGEWANDTE MATERIALIEN Excite Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung hat einen Ruf für Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Leistung erworben, so dass es eine beliebte Wahl unter den Halbleiterherstellern. Das System bietet eine hervorragende Grundlage für einen erfolgreichen Lithographieprozess und ist eine effektive Lösung für die Herstellung von Hochleistungshalbleitern.
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