Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 #9280347 zu verkaufen

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ID: 9280347
Wafergröße: 12"
Defect review system, 12" Wafer shape: Notch Electron optical system: Accelerating voltage: 150 V - 15,000 V Probe current: 10 pA - 1.2 pA SEM Resolution: 4 nm at 1 kV Magnification: 200x - 200,000x Maximum pixel: 1440 Multi perspective SEM imaging VC model Optical microscope system: Bright light microscope Dark field microscope Optical microscope: 5x / 20x / 100x SECS / GEM Communication interface: Defect file format Output file format Host communication (SECS II / GEM /HSMS) Wafer stage: Stage accuracy: ±1.5 um Unique die to die Automatic defect review Automatic defect classification Automatic process inspection No E-Chuck stage Anti charge Peripheral: Port type 1 and 2: OCLP With EDX Tilt and rotation Remote work station Resolution target: Regular Signal tower: Standard EPDU No FIB.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 ist ein Stück anspruchsvolle Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung. Dieses Gerät verfügt über modernste Optik und Bildverarbeitungstechnologie, um hochauflösende, submikronische Bildgebungs- und Erkennungsfunktionen bereitzustellen. Das DR-300 verfügt über eine einzigartige Scanplattform, die ein gleichbleibend hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowohl für 32nm als auch unter Knoten bietet. Es verfügt über ein abgewinkeltes Beleuchtungssystem, um eine Off-Axis-Bildgebung und Mehrstrahlen zu ermöglichen, um eine Erhöhung der Empfindlichkeit und des Durchsatzes zu ermöglichen. Außerdem, der DR. 300 Angebote einmalige kritische Hochleistungsdimension, die darstellt, der Strukturen schneller und mit mehr Genauigkeit analysieren kann als jemals vorher. Die CX- DR-300 unterstützt eine Reihe unterschiedlicher Bildgebungsfunktionen. Es verfügt über Direktstrahl-Bildgebung (DBI), eine einzigartige Technologie entwickelt, um Effekte von Reflexionen und Aberrationen zu reduzieren und schärfere Bildgebung für anspruchsvolle Proben zu geben, wie diejenigen mit engen Streuwinkeln oder große Höhen. Darüber hinaus verfügt es über Off-Axis-Beleuchtungswinkel und Mehrstrahl-Bildgebung. Mehrstrahl-Bildgebung ist im Wesentlichen eine fortschrittliche Kombination aus Dunkelfeld-Bildgebung und Durchfokus-Bildgebung, weil sie nicht auf Kontrast aufgrund von Reflexionen angewiesen ist, so dass die Abbildung von ultradünnen metallischen Strukturen mit großer Genauigkeit. Schließlich bietet die CX DR-300 umfassende Fehlerinspektionsmöglichkeiten mit 2D- und 3D-Bildrekonstruktion, automatisierter Fehlerklassifizierung und erweiterter Auto-Klassifizierung sowie über Bildgebung für automatische Via-Size-Messungen. Es verfügt über eine integrierte intelligente Fehlerüberprüfungsfunktion, die eine einfache Überprüfung von Bewertungsbildern ermöglicht und eine Empfehlung für weitere Untersuchungen oder weitere Überprüfungen liefert. Alle diese Funktionen kombinieren AMAT SemVision CX DR-300 ein ausgezeichnetes Masken- und Wafer-Inspektionssystem für jede Branche, in der zuverlässige und genaue Bildgebung unerlässlich ist. Es liefert Spitzenleistung und garantierte Genauigkeit der Messungen, was ein Höchstmaß an Qualitätssicherung ermöglicht. Dieses Gerät ist ein Muss für jeden Hersteller, der effiziente und zuverlässige Inspektionsprozesse sicherstellen möchte.
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