Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #9185367 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX
ID: 9185367
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2004
Review station, 8"-12" E-Beam Resolution: 4 nm at 1kV EDX Automatic defect review and classification capability Multi perspective imaging SEM Autofocus SONY 990 CCD Optical video image: 2.5x, 20x and 100x Vacuum chamber (3) Wafer tilt positions (0, 15 and 45 degrees) SECS II Compatible (2) BROOKS AUTOMATION Fixed load ports SGI (Main computer): IRIX Silicon graphics EDX: Sun SPARC 5 Operating system: Solaris MEC, WHC / Image computer: Windows NT NFS Supports Missing part: Hard disk drive 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die anspruchsvollsten Halbleiterumgebungen entwickelt wurde. Es verfügt über den höchsten Durchsatz auf dem Markt und verfügt über eine renommierte automatisierte Maske & Wafer Handling, Kalibrierung und Ausrichtung Systeme. Das System ist skalierbar und aufrüstbar und kann die fortschrittlichsten Anforderungen an die Wafer- und Maskeninspektion erfüllen. Das CX-Design beinhaltet die AdaptiView-Softwareplattform, um sicherzustellen, dass Maskenmuster und zugehörige Strukturen wie Lithographie-Kantenrauhigkeit (LER) und Messungen kritischer Dimensionen (CD) genau identifiziert und gemessen werden. Darüber hinaus bietet die Softwareplattform höchste Genauigkeit für Wafer- und Retikelmessungen sowie die Fähigkeit, Wachstum und Veränderungen auf der Stempeloberfläche aufgrund von Mehrschichtmustern zu überwachen. Die bildgebende Technologie des Geräts verwendet mehrere Objektivoptionen, von telezentrisch und asphärisch bis hin zu Immersion und 3D, sowie eine eigene proprietäre „Light Box“ -Beleuchtung mit hoher Auflösung und mehrfarbigen Bildern. Es unterstützt eine breite Palette von Wafersubstraten, einschließlich SOI, Silizium, Glas und andere. In Bezug auf seine Inspektionsmöglichkeiten verfügt das CX über eine Reihe von Funktionen wie die Yield Management Software (YMS), mit der Benutzer Fehler intuitiv analysieren und schnellere Ertragsverbesserungen erzielen können. Benutzer können auch Prozesstoleranzen definieren und Regeln anpassen, um falsche Anrufe zu reduzieren und sie einheitlich und effizient zu klassifizieren. Darüber hinaus bietet die CX eine intuitive Maskenprüfbericht-Generierungsmaschine mit statistischer Analyse, die eine schnellere Fehlerisolierung und -analyse ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Tool eine umfassende Suite von manuellen (MPD) und automatisierten (CSPD) Partikelerkennungs- und Auswertefunktionen. Es verwendet die neuesten Strahlabtasttechnologien für die Wafer- und Retikelinspektion sowie die genauesten und aktuellsten Algorithmen für die Fehlererkennung und -korrektur. Abschließend ist festzustellen, dass AMAT SemVision CX Asset ein fortschrittliches Modell ist, das die anspruchsvollsten Anforderungen in Halbleiteranwendungen erfüllt. Es bietet automatisierte Masken- und Wafer-Handhabung, Kalibrier- und Ausrichtungssysteme sowie überlegene Bildgebungstechnologie und modernste Strahlscantechnologien. Darüber hinaus bietet es fortschrittliche Softwareplattformen für eine effiziente Fehlererkennung, -analyse und -isolierung.
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