Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB #9375215 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB
ID: 9375215
Defect review system Process: Metrology.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine automatisierte, schnelle und zerstörungsfreie Fehlererkennung und -analyse ermöglicht. Das System verwendet einen fokussierten Ionenstrahl (FIB), um auf unter der Oberfläche liegende Features zuzugreifen. Die Einheit basiert auf Elektronbalkenwechselwirkungstechniken, die an Oblaten und Masken angepasst worden sind. Die FIB ist auf Bereiche der Probe gerichtet, in denen Defekte vermutet werden, und die Maschine erkennt und charakterisiert sie dann. Der Balken dient auch zum Querschnitt der lokalen Oberfläche, so dass die innere Geometrie der Defekte untersucht werden kann. Das SEM kann eine Vielzahl von Fehlertypen erkennen, einschließlich Oberflächen- und Unterflächendefekte wie Kratzer, Brüche, Punktdefekte, lokale Zusammensetzungsvariationen und Mikrometerpartikel. AMAT SemVision G3 FIB wurde mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche entwickelt, um die Werkzeugsteuerung zu erleichtern. Die Anlage umfasst eine Vielzahl von Stufen, wie die Probenmontagestufe, die Arbeitskammerstufe und die Bestrahlungsstufe. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Abbildungsmodell mit einer großen Probenkammer. Mit den Bildaufnahme- und Bildanalysemodulen können Defekte effizient lokalisiert und analysiert werden. Darüber hinaus unterstützt das Gerät verschiedene Strahlungsquellen, wie einen Standard-Faraday-Becher, ein CCD-Bildgebungssystem und eine Kombination aus einem Ionenenergiespektrometer und einem Ionenrückstreuspektrometer. Es verfügt auch über eine erweiterte Bildrekonstruktionseinheit, um verschiedene topographische, Oberflächen- und Schnittstellenmerkmale zu analysieren. Die Hochgeschwindigkeits-Scanfunktionen der Maschine, gepaart mit ihrer präzisen Steuerung des Strahlstroms, ermöglichen eine schnelle und genaue Fehlererkennung und -analyse. Die bildgebende Fähigkeit des Werkzeugs kann hochauflösende Bilder aus einer Vielzahl von Winkeln und Ansichten aufnehmen. Dies macht es ideal für den Einsatz in der Prozesssteuerung und Fehleranalyse. ANGEWANDTE MATERIALIEN SemVision G3 FIB ist eine leistungsstarke Inspektionsanlage, die mit minimalem Aufwand schnelle und genaue Ergebnisse liefern kann. Das ausgeklügelte Abbildungsmodell ermöglicht die genaue und zuverlässige Erkennung und Charakterisierung von Unterflächen- und Oberflächendefekten. Die benutzerfreundliche Oberfläche und Hardware-Funktionen machen es einfach zu bedienen, und seine Hochgeschwindigkeits-Scan-Funktionen ermöglichen eine hocheffiziente Fehlererkennung und -analyse.
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