Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #9280960 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9280960
Defect review system, 12"
Specifications:
± 0.05 mm (SEMI M28)
775 ± 25 um
Notched wafers
Carrier: (2) FOUPs 25wf, 12"
Interface: (2) FOUP (Continuous flow operation)
Supporting remote units
EBARA ES80 Dry and vacuum pumps
EPDU
UPS: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
Vacuum block assembly
Fixed system configuration:
Wafer ID reader: Backside bar code wafer scribe reader
P I/O For OHT (Hokuyo): VERITYSEM AUTO5
Operator access switch: VERITYSEM AUTO8
Wafer mapping capable: Through beam mapper VERITYSEM-AUTO6
Optical FOV: Large optical FOV 100x um 20x and 2.5x
Communications protocol: SECS-II GEM+
HSMS 300 mm as VERITYSEM AUTO10, E84,E87,E90,E94 (TAR1.5)
Tilt capability: Tilt function NA
Contact hole profile grade: SECS capable output VERITYSEM-SYS2
Wafer stage: Anorad stage
Data back up: Monthly PM backup
EMO: One per side of main body and one on operator console
Interlocks: ETU Access panel
Signal tower:
Red / Yellow / Green / Blue:
Upper left of front and upper right section of loader on maintenance side
Installation requirements: CDA Bulk gas
(l/min) per SEMVision SSPS:
CDA Peak flow: 120
Ave flow: 16
LPOCs Req: 4
Electric supply: 120 V, Single phase, Peak flow: 1, 120 V
Water: (l/min) per SEMVision SSPS
PCW Peak flow: 75
Exclusive to G3
Stage: Z25 Oil, stage acceleration 1/4g, clean cables
Scan electronics: MEC
Computer: IP and WHC and MEC and EDX Computer
Power supply: HVPS, CDM
SEM Column: Column version NA
OM: DF/BD
Dry pumps not included
CE Marked
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite ist eine Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung, die entworfen ist, um präzise Messungen auf Substraten und Schaltungsmustern durchzuführen. Das System ist auf einer offenen, modularen Plattform aufgebaut, die eine einfache Integration in bestehende Test- und Messtechnik-Systeme ermöglicht. Es ist mit hochauflösenden Bildgebungswerkzeugen ausgestattet, um präzise Bilder von gemusterten Strukturen, einschließlich kritischer Schichten, bei hoher Auflösung zu erhalten, um präzise Messungen zu ermöglichen. Die Einheit zeigt eine Hochleistungsbildanschaffungstechnologie, die die Analyse der großen Fläche in einer kurzen Zeitdauer berücksichtigt. Es enthält auch ausgefeilte Bildverarbeitungsalgorithmen, um Bilder zu verbessern, Fehler zu erkennen und präzisere Messungen von Dimensionen und Formen zu ermöglichen. Die Maschine verfügt über eine leistungsstarke Suite von Software-Tools zur Analyse der erfassten Bilder. Diese Werkzeuge ermöglichen den Vergleich von Messungen mit Referenzdaten und die Validierung bestimmter Kriterien zur Identifizierung von Konstruktionsfehlern oder Fehlern. Das Werkzeug ist auch mit einer Reihe von Messfunktionen ausgestattet, die genaue und hochauflösende Messungen verschiedener Parameter ermöglichen, einschließlich Linienbreite, minimale Breite, Überhang, Linearität, Kantenrauhigkeit, Kontaktbreite, Ätztiefe, Durchmesser und Kegelwinkel. Darüber hinaus sind sowohl Transmissions- als auch Reflexionsbildfunktionen integriert, um den genauen Vergleich von absoluten Abmessungen und Abmessungen zwischen mehreren Schichten eines Substrats zu ermöglichen. Das Asset entspricht auch den Industriestandards, wie dem SEMI M13-Standard, so dass es mit bestehenden Messtechnik-Tools kompatibel ist. Darüber hinaus verfügt es über eine benutzerfreundliche Oberfläche, so dass Benutzer das Modell schnell und effizient einrichten und verwenden können. Alle Funktionen und Funktionen der Geräte können über eine webbasierte Benutzeroberfläche gesteuert werden. AMAT SemVision G3 Lite ist eine ideale Lösung für die Masken- und Waferinspektion und bietet Anwendern eine effiziente und umfassende Testabdeckung von Substraten und Mustern. Das System wurde mit den neuesten optischen und bildgebenden Technologien entwickelt und nutzt robuste Bildverarbeitungsfunktionen, um eine überlegene Bildqualität und -genauigkeit zu gewährleisten. Seine benutzerfreundliche Oberfläche und anpassbare Messroutinen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen, so dass Benutzer Zeit sparen und gleichzeitig den Durchsatz und die Produktqualität erhalten.
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