Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 #9372771 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3
ID: 9372771
Wafergröße: 12"
Defect review system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für eine schnelle Fehlererkennung und -behebung ausgelegt ist. Dieses System kombiniert Hardware-, Software- und Verarbeitungsleistung, um Fehler in präzisen Gerätemaskenbildern zu erfassen, zu analysieren und zu korrigieren. Die Hardware von AMAT SemVision G3 besteht aus mehreren Komponenten. Am Fundament steht eine hochmoderne Bildverarbeitungseinheit, die eine hochauflösende, intelligente CCD-Kamera antreibt, um das Bild zu erfassen und so die Visualisierung und Analyse von Funktionen bis zu einem Mikron zu ermöglichen. Gepaart mit einer sich wiederholenden dreistufigen Pyramidenerfassungsmaschine mit eingebautem Linearcodierer zur präzisen Autofokussierung. Ein Objekt-Erkennungs-Tool (ORS) verwendet eine Reihe von erweiterten Algorithmen, um die aufgenommenen Bilder mit erhöhtem Kontrast und Schärfe zu verbessern. Anschließend werden die Bilder vom Image Analysis Asset (IAS) verarbeitet und analysiert. Als nächstes verwendet das G3 mehrere Softwaremodule zur Datenverarbeitung und Fehlererkennung. Dazu gehören Segmentierung und Klassifizierung (SCU), Kantenerkennung (EDT) und Partitionsalgorithmen. Diese helfen, Fehler zu erkennen und zu erkennen, die dann durch eine Vielzahl von Messungen, einschließlich Größe, Form, Position und Richtung gekennzeichnet sind. Schließlich wird ein Korrekturmodell (Correction Model, CORR) verwendet, um die Zusammenfassungsergebnisse mit gespeicherten Standards zu vergleichen, um sicherzustellen, dass sich die Daten innerhalb des angegebenen Toleranzbereichs befinden. Schließlich ermöglicht die modulare Architektur von APPLIED MATERIALS SemVision G3 eine Vielzahl leistungsstarker Verarbeitungsfunktionen, um genaue und konsistente Ergebnisse über verschiedene Produktionsprozesse hinweg zu gewährleisten. Dazu gehört ein abgestimmtes Lithographiemodul, das hochauflösende Bilder des IC-Wafers erzeugt und dabei Rauschen minimiert, die durch den Maskierungsschritt erzeugt werden. Darüber hinaus bietet es einen schnellen Datenaustausch zwischen seinen verschiedenen Komponenten, um die Maskierungs- und Inspektionsprozesse zu beschleunigen. Insgesamt ist SemVision G3 ein unglaublich leistungsfähiges Werkzeug für die Masken- und Waferinspektion. Es kombiniert fortschrittliche Bildaufnahmen, ausgefeilte Bildverarbeitungs- und Analysealgorithmen und leistungsstarke Datenverwaltungsfunktionen, um Fehler im Gerätemaskierungsprozess zu minimieren. Es ist sicher, ein unschätzbares Gut zu sein, um konsistente und genaue Ergebnisse zu erzielen.
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