Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP #9399576 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein leistungsstarkes Hochdurchsatzsystem zur schnellen und präzisen Inspektion und Charakterisierung von Lithographiemustern in einer Vielzahl von Materialien und Prozessschichten. Das Gerät bietet einen umfassenden Satz von Funktionen für die kammerlose und Vollfeldinspektion, einschließlich erweiterter Mustererkennungsfunktionen und programmierbarer Bildanalysetools. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Lithographieproblemen wie Defekte, Dimensionsschwankungen und Musterungleichförmigkeit zu erkennen, die zu unerreichten Ausbeuten bei der Halbleiterherstellung führen können. Das G5 HP basiert auf einer modularen Architektur, die mehrere Basiskomponenten umfasst. Herzstück der Maschine ist eine leistungsstarke Mehrzweck-CCD-Kamera. Diese Kamera ist in der Lage, Bilder mit Auflösungen von bis zu 1 Mikron zu erfassen und in der Lage, die Lichtquellenmodulation zu erfassen, die verwendet wird, um einen effektiven Bereich von Modulationsübertragungsfunktionen zu erzeugen. Die CCD-Kamera ist in einem temperaturgesteuerten Kamerawerkzeug untergebracht und ist mit dem PC synchronisiert, was eine Echtzeitkontrolle des Geräts ermöglicht. Neben der Kamera verfügt das G5 HP über eine fortschrittliche optische Ausrüstung auf Modellebene, die über extremen 8: 1-optischen Zoom, ein großes Sichtfeld und eine fortschrittliche Abbildungsoptik verfügt, die kleine Funktionen mit hohem Kontrast auflösen kann. Die interaktive Touchscreen-Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung erweiterter Funktionen und Tools mit kontextbezogener Hilfe und Unterstützung für mehrere Sprachen. Die Software ist auch hoch fortgeschritten und bietet einen vollständigen Satz von Werkzeugen für die Identifikation von Wafer- und Maskenmustern, Fehler- und Dimensionsanalysen sowie die Messtechnik und Charakterisierung von lithographischen Mustern. Die Software kann auch einfach an die Bedürfnisse und Anforderungen der Kunden angepasst werden, mit einer Bibliothek mit Standardskripten sowie Anpassungstools. Der G5 HP ist stabil und zuverlässig in einer Produktionsumgebung mit robuster Konstruktion und bewährter Systemtechnik konzipiert. Kontinuierliche Verbesserung der Einheit wird betont, mit einer intuitiven Kundensupportmaschine für schnelle Entwicklung und Bereitstellung. Das Tool wird auch von AMAT renommierten Software-Tools von SemVision Inspect und DataMatch unterstützt, die eine vollständige Kontrolle und Dateninterpretation ermöglichen. Diese Anlage eignet sich hervorragend für Anwendungen mit hohem Produktionsdurchsatz und bietet genaue Ergebnisse mit hohen Abtastraten und niedrigen Kosten pro Probe.
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