Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #293589564 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5
ID: 293589564
Weinlese: 2010
Defect review system 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5 ist eine führende automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für hohe Leistung, Prozesskontrolle und Kosteneffizienz. Ideal für den Einsatz in Halbleiterlithographiebetrieben, erfasst die fortschrittliche Bildgebungstechnologie des Systems hochauflösende Bilder von belichteten Masken und fertigen Wafern, um eine detaillierte Sichtbarkeit und Fehlerklassifizierung zu gewährleisten. Der G5 ist eine innovative vollautomatische Einheit, die einen leistungsstarken CPU/GPU-Single-Board-Prozessor mit fortschrittlicher Bildverarbeitungssoftware zur Inspektion von Masken und Wafern verwendet. Die hohe Vergrößerung, High-End-Lumenera transmissive Stufen der Maschine bieten automatisierte Bildgebung für 6 „und 8“ Wafer-Größen und 2x Reticle-Größen. Die Hochleistungssensoren liefern scharfe Bilder aller Defekttypen, auch solche, die kleiner als 1 µm sind. Das Tool verwendet erweiterte Analysen wie TrueColor, Contrast ImageMasking, Chromatic Defocus, um Fehler zu erkennen, zu messen und zu klassifizieren. Die schnelle Inbetriebnahme und minimale Wartung des G5 machen ihn zu einem sehr wirtschaftlichen Inspektionsgut. Ein einziger Computer steuert sowohl die Masken- als auch die Wafer-Inspektionsfunktionen, und das Modell ist über eine einzigartige GGI-Lizenz vollständig in AMAT/APPLIED MATERIALS Wafer Tracking Equipment integriert. Die fortschrittliche Bildgebung und Analyse des Geräts ermöglicht es Kunden, präzise 3D-Waferbilder in Reihe zu erstellen, bestehende Bedingungen mit CDI (Critical Dimension Inspection) an Knoten 45 nm und darunter zu überprüfen, Kontaminationen zu erkennen und Deltas ohne Offline-Analyse zu messen. Das System kann auch zur Fehlerpriorisierung nach Erstprüfung eingesetzt werden, um wiederkehrende Fehler schnell zu erkennen und zu beheben. Der G5 wurde entwickelt, um die Anforderungen an dauerhafte Leistung und Produktivität für 248nm, 193nm und 157nm Laser in hoher Serie zu erfüllen. Die vollautomatisierte Einheit kann Millionen von Bildern pro Stunde messen, verifizieren und analysieren, die Inspektionszeit reduzieren und den Durchsatz verbessern. Als integrierte Lösung senkt das G5 die Betriebskosten bei gleichzeitiger Erhöhung der Prozesskontrolle und -genauigkeit, sodass Kunden ihre Produktionsziele erreichen können. Mit dem G5 können Anwender von den fortgeschrittenen Analysen profitieren, die die Produktion von qualitativ hochwertigen Produkten unterstützen, die fehlerfrei und innerhalb der spezifizierten Produktspezifikationen sind.
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