Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #9308059 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein vollautomatisiertes, halbleitermesstechnisches Werkzeug zur zuverlässigen Erkennung von Defekten in Masken und Wafern. Das System nutzt zwei Hersteller, Nikon und Schneider Optical Technologies, so dass Anwender zwischen moderater und hoher Vergrößerung wählen können. Es bietet auch verschiedene Messarten wie optische Reflektivität, Kantenrauhigkeit, radiale geometrische Verzerrung und mehr, so dass es ideal für Forschung und Produktion Anwendungen. Das Gerät verfügt über zwei Hauptmodule, ein Maschinensteuerungsmodul und ein Bildaufnahmemodul mit jeweils eigenen Funktionen. Das Tool Controller Modul ist das Gehirn des Assets, das für die Verwaltung aller Modelloperationen von der Erfassung von Bildern bis zur Analyse von Daten verantwortlich ist. Sie besteht aus einer Steuersoftware, einer Abbildungskonsole und einem Halbleitersteueranschluß. Darüber hinaus verfügt es über Bedienfelder zur Steuerung der Betriebseinstellungen und einen PC, der über USB an das Gerät angeschlossen ist. Das Bildaufnahmemodul besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Mikroskop, einem Mikroskopadapter und einer Kamera. Das Mikroskop dient zur Vergrößerung und detaillierten Bildgebung, während der Adapter direkt mit der Kamera verbunden ist und hilft, sicherzustellen, dass die Bilder vom System genau erfasst und analysiert werden. Das Mikroskop umfasst sowohl ein Gesichtsfeld als auch eine Auswahl optischer Parameter wie Auflösung, Bildgröße und Schärfentiefe. Das Mikroskop bietet auch eine Vielzahl von Abbildungsmodi für verschiedene Anwendungen, wie Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation und mehr. Die Kamera ist eine hochauflösende digitale Bildaufnahmeeinheit, die Bilder mit bis zu 4K Auflösung aufnimmt. Die Bildverarbeitungssoftware der Maschine ermöglicht es Benutzern, verschiedene Eigenschaften des Wafers und der Masken zu messen. Die Software kann Fehler am Wafer und an den Masken erkennen sowie deren radiale Abstände und Bereiche messen, um deren Genauigkeit zu beurteilen. Darüber hinaus kann es verwendet werden, um optische Eigenschaften wie Kratzer, Kratzer an bestimmten Merkmalen, Eigenschaften Glättung oder Abweichung und andere Details zu messen. Die Software bietet auch Bildverarbeitungs- und Analysealgorithmen für die automatische Fehlererkennung, die Extraktion von Funktionen und eine Vielzahl anderer Zwecke. AMAT SemVision Mask & Wafer Inspection Tool ist ein effizientes Werkzeug, um die höchstmögliche Qualität des Halbleiterherstellungsprozesses zu gewährleisten. Seine Fähigkeit, Fehler genau zu erkennen und verschiedene Eigenschaften des Wafers und der Masken zu messen, machen ihn zu einer idealen Wahl für Forschungs- und Produktionsanwendungen.
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