Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #293585584 zu verkaufen
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ID: 293585584
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Brightfield inspection system, 12"
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine außergewöhnliche Leistung bei der Fehlererkennung, Dimensionierung und Signal-/Rauschunterscheidung von mikroskopischen Defekten bietet. Dieses System bietet einen verbesserten Durchsatz, Signal-Rausch-Erkennungsverhältnisse und Fehlerauflösung. Darüber hinaus bietet es Präzisionsmessungen und automatisierte Fehlerberichtserstellung. Das Gerät basiert auf einer offenen Architekturplattform, die mehrere Schlüsselkomponenten umfasst. Ein großer Bildebenendetektor wird verwendet, um eine hochgenaue Erkennung und Messung von Defekten innerhalb des bearbeiteten Wafers oder der Maske zu gewährleisten. Es zeigt eine Doppelscanbildaufbereitungsmaschine, sich sowohl Übertragung als auch Bildaufbereitungstechniken des widerspiegelten Lichtes verbindend, um konsequente, zuverlässige Defektsignale mit einer niedrigen Fehlalarmrate zu versorgen. Diese inspiziert Mikrodefekte mit normalem Licht und ermöglicht die Erkennung mikroskopischer Deformationen mit minimaler Wirkung auf die Hintergrundumgebung. Das bildgebende Werkzeug enthält auch eine fortgeschrittene Beleuchtungskomponente, die UV-, sichtbare und infrarote Lichtquellen umfasst, um die Eigenschaften eines Defekts richtig aufzudecken. Dies ermöglicht genaue Größen- und Standortschätzungen. Darüber hinaus bietet das Modell eine optimierte Fokusstufe für eine bessere Fehlerauflösung durch Durchfokus-Scannen. Das Gerät bietet auch eine Instrumentensteuerungssoftware, um Anwendern ein umfassendes Mittel zur Steuerung von Systemfunktionen und -analysen zur Verfügung zu stellen. Mit dieser Software können sie die Erkennungsfunktionen und die Statusüberwachung des Geräts einrichten und optimieren. Darüber hinaus bietet die Maschine ein umfangreiches Angebot an Analysewerkzeugen, wie Messwerkzeuge und ein vollautomatisches Fehlerüberprüfungswerkzeug, sowie ein Feature Extraction and Defect Classification Asset. Diese Eigenschaften machen AMAT UVision 4 zu einem leistungsstarken Werkzeug für die Masken- und Waferinspektion. Durch die Bereitstellung genauer Messungen und die Erstellung von Fehlerberichten wird eine gleichbleibende Qualität gewährleistet, die sicherstellt, dass Fehler erkannt werden, bevor sie in die Produktion gelangen. Es bietet auch überlegene Bildgebungsfunktionen und verschiedene Analysetools, mit denen Bediener den Masken- und Waferinspektionsprozess einfach überwachen und verwalten können. Kurz gesagt, es bietet ein zuverlässiges und vielseitiges Modell zur Fehlererkennung innerhalb von Maske und Wafern und ist damit ein überlegenes Werkzeug für die Halbleiterindustrie.
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