Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #293665699 zu verkaufen
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ID: 293665699
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Brightfield inspection system, 12"
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4 ist eine hochpräzise, fünfachsige Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Halbleiterherstellungsanwendungen. Es ist in der Lage, Muster geometrische, Größe und Form sowie Oberflächenfehler auf Wafern und Masken zu messen. Das System umfasst eine Reihe von dreidimensionalen optischen Sensoren, um sowohl Blick- als auch Tiefendefekte zu erkennen. AMAT UVision 4 ist mit einem fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmus ausgestattet, der die Geometrie von gemusterten Merkmalen vergleicht und analysiert, was bei der frühzeitigen Erkennung und Vermeidung von Fehlern hilft. Das Gerät verfügt über eine 8-Zoll x 8-Zoll-Doppelstufe mit 200 mm und 150 mm Wafern. ANGEWANDTE MATERIALIEN UVision 4 ist mit zwei Lichtfeld-Leuchten der Klasse zwei ausgestattet, die eine einfache Erkennung kleiner Defekte und Merkmale ermöglichen. Darüber hinaus ermöglicht die aktive Staging-Technologie ein präzises Scannen von Voll- und Teilflächen. Dadurch wird sichergestellt, dass potenzielle Defekte frühzeitig erkannt werden, was eine bessere Wafer- und Maskenausbeute ermöglicht. Um Genauigkeit und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten, ist die Maschine mit einer integrierten automatisierten Extraktionssoftware ausgestattet. Diese Software extrahiert und untersucht automatisch Funktionen wie Brücken, Gräben und Treuhandmarken, um deren Abmessungen und Standorte zu bestimmen. Die automatisierte Software ist auch in der Lage, Kanten, linienseitige Formen und Öffnungen/Verschlüsse zu analysieren. Es ist auch mit Anti-Aliasing und Jittering-Algorithmen ausgestattet, die Auflösung und Kontrast verbessern. UVision 4 ist für die Verwendung mit einer Vielzahl von digitalen Bildgebungstechnologien wie Rasterelektronenmikroskop (SEM), Transmissionselektronenmikroskop (TEM) und Laserbildgebung konzipiert. Es nutzt auch verschiedene Beleuchtungs- und Belichtungstechnologien wie Spotbeleuchtung, Hochwasserbeleuchtung und Pulsbeleuchtung. Das Tool ist auch in der Lage, komplexe KEs mithilfe erweiterter Algorithmen zur KE-Erkennung und Musteranpassung zu erkennen. Dieses multifunktionale Gut hilft, die Zeit und den Aufwand für die Inspektion von Wafern und Masken bei der Halbleiterherstellung drastisch zu reduzieren. Es bietet einen erhöhten Durchsatz und eine stabile Leistung bei gleichzeitig höherer Präzision und Genauigkeit zur Erkennung und Messung von Defekten auf Nanometerebene. AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4 kann auch dazu beitragen, den Ertrag durch die umfassende Erkennung von Mängeln und die Überprüfung von Konstruktionsregeln zu steigern.
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