Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9298508 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5
ID: 9298508
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Brightfield inspection system, 12" 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein fertigungstechnisches Messsystem, das eine fortschrittliche optische Inspektion und Fehlerüberprüfung für Halbleiterscheiben und Photomasken bietet, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet werden. AMAT UVision 5 nutzt 360-Grad-Strahlabtasttechnologie, um die Dimensionseigenschaften und Oberflächenvariationen sowohl komplexer Schaltungen als auch Photomasken exakt zu messen. Diese Einheit ist sowohl in der Lage, Wafer-Ebene und Stempel-Ebene Inspektion. Für die Wafer-Pegelinspektion verwendet die Maschine eine 1µm Strahlfleckgröße und ein 50 μ m fokussierendes optisches Werkzeug mit einer 195mm maximalen Vakuumscheibengröße zur Vergrößerung bis zu 10.000x. Darüber hinaus wurde die Anlage entwickelt, um hochpräzise Messungen von Schaltkreisen und Mustern durch die patentierte kontinuierliche Fokusanpassung bereitzustellen, um den höchsten Durchsatz zu erhalten. ANGEWANDTE MATERIALIEN UVision 5 bietet hochauflösende Oberflächendefektanalyse oder Fehlerüberprüfung. Diese besteht aus 3D-Messtechnik, Oberflächentopologie-Profilierung und Abbildung von Fehlermerkmalen und Fehlermorphologie-Eigenschaften. Das Modell ist mit fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen ausgestattet, die die Fehlerüberprüfungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit verbessern sollen. Dies umfasst sowohl automatische Fehlerüberprüfung (ADR) für erweiterte Fehleranalysen als auch automatisierte Erkennungs-Leistungsmessgrößen für die Generierung präziser Analyseergebnisse. UVision 5 Geräte automatisieren den gesamten Inspektionsprozess, von der optischen Inspektion bis zur Fehleranalyse. Dazu gehören automatisierte Waferausrichtung, genaue Verzerrungsverfolgung und Überprüfung sowie automatische Fehlerklassifizierung. Das System enthält auch 2D-Maskenausrichtung und CD/RCD-Scannen und Nähen. Schließlich bietet das Gerät Routinemessungen, Leistungstests, Merkmalsgröße und OSAT-Messungen, CD/RCD-Messungen und LER-Messungen zur Verfolgung der Fertigungserträge. Durch die integrierte Automatisierung und hohe Datengenauigkeit und Präzision bietet AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 eine zuverlässige und wiederholbare Masken- und Waferinspektion für Produktionsumgebungen. Diese Maschine erhöht den Durchsatz, erfüllt untere Prüfgrenzen und bietet eine höhere Prozesssteuerung.
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