Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9375213 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5
ID: 9375213
Brightfield inspection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 ist ein Arbeitstier in der Welt der Masken- und Waferinspektion. Es bietet zuverlässige und vielseitige Inspektion und Wafer in einem hochautomatisierten Gerät, mit einer kurzen Lernkurve. Dieses Tool verwendet 355 nm UV-Laserlicht und eine 6-kreisförmige CCD-Kamera, die eine Wafer-Überprüfung bei Vergrößerungen bis zu 3000X ermöglicht. Dieses Tool bietet eine genaue Überprüfung der großen Wafer-Karten, erhöht die Geschwindigkeit der Mustererkennung und verringert falsche Zurückweisungen. Zusätzlich zur Identifizierung von Konstruktionsregelverletzungen verwendet das System automatische Klassifizierungsalgorithmen, um eine effiziente und zuverlässige Mustererkennung zu gewährleisten. Dieses Tool enthält auch flexible vorkonfigurierte Teilfeldbereiche, die eine detaillierte Überprüfung der kleineren Funktionen in einem größeren Bereich ermöglichen, wodurch spezifische ertragsbezogene Hot Spots angestrebt werden können. AMAT UVision 5 ist ein sehr vielseitiges Werkzeug, das verschiedenste Substratgeometrien inspizieren kann. Es ist in der Lage, verschiedene Muster in nicht „quadratischen“ Chips sowie Strukturen wie Gate-Seitenwandstrukturen mit Leichtigkeit zu überprüfen. Neben der Erkennung von Musterdefekten ist es auch in der Lage, nach Fehleranomalien wie zufälligem Rauschen, unscharfen Kanten und Linienbreitenvariation zu suchen. Das Gerät verfügt auch über automatische und manuelle Fehlerklassifizierungsfunktionen, wodurch sowohl der Benutzer als auch die Fehlererkennungsmaschine ein besseres Verständnis der gerätebedingten Fehler erhalten. Das Tool bietet auch eine automatisierte Fokuskalibrierung und Driftanpassung, die eine strukturierte Ausrichtung und eine konsistente Leistung für die Wiederholbarkeit von 10-Sigma bei Subnm-Auflösungen ermöglicht. Die automatisierte Funktion eliminiert auch benutzerdefinierte Einstellungen und reduziert die manuelle Abstimmung drastisch, was konsistentere und wiederholbare Messungen ermöglicht. Die Benutzeroberfläche des Asset ist außerdem einfach zu bedienen und bietet eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, die eine einfache Musterüberprüfung, Anmerkung und Auswahl unterstützt. Es bietet auch komplette Operationen und Qualitätskontrollfunktionen direkt vom Desktop aus. Abschließend ist das UVision 5 Modell von APPLIED MATERIALS ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug, das für die Masken- und Waferinspektion in den heutigen Halbleiterherstellungsanlagen entwickelt wurde. Es bietet präzise Möglichkeiten zur Musterüberprüfung und Fehlererkennung und automatisierte Einstellungen für zuverlässige Messungen. Darüber hinaus bietet die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche eine einfache Musterüberprüfung, Anmerkung und Auswahl.
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