Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9390690 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5
ID: 9390690
Brightfield inspection systems.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 ist eine revolutionäre Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um überlegene Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Halbleiterfehlerisolierung, Prozessoptimierung und Ertragsmanagement-Prozessen zu liefern. Das System umfasst eine automatisierte konfigurierbare integrierte bewegliche optische Mikroskopie (MOM) -Einheit, die einen Leistungsvorteil für Prozessüberwachung, Fehlerisolierung und Ertragsverbesserung bietet. Die Maschine ist empfindlich auf 5 nm Fehlergrößen und bietet Echtzeit-Messungen von gedruckten Defekten und Linienbreiten, die eine überlegene Prozesssteuerung für die Herstellung ultrafeiner Bauteilgeometrie, enge Toleranzlinienbreiten und Fehlererkennung gewährleisten. Das optische Mikroskopdesign von AMAT UVision 5 besteht aus einem patentierten bewegten optischen Mikroskop (MOM) auf eine XYZ-Bühne, was je nach Anwendung zu einer automatisierten integrierten zweidimensionalen (2D) Inspektion und automatischen Fokuseinstellung führt. Das Instrument beinhaltet auch eine patentierte automatische Ausrichtungstechnik, die höchste Klarheit sowie Genauigkeit der Waferregistrierung bietet. Dadurch wird sichergestellt, dass Fehlstellungen von Vorder- und Rückseite-Prüfmerkmalen vermieden werden. Während des Betriebs legt die Plattform einen Wafer auf ein MAMA-Fenster, und die Mama bewegt sich durch und um den Wafer bei high sped. Ein bildgebendes Werkzeug arbeitet in Verbindung mit der MOM und produziert sehr detaillierte, erweiterte Bilder, die dann studiert oder mit der Bibliothek bekannter guter oder schlechter Designs verglichen werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN UVision 5 bietet einen schnellen Durchsatz und kann in einer eigenständigen Umgebung betrieben werden, wodurch Benutzer die Fehlersuche vor Ort verkürzen und das Ertragsmanagementprotokoll optimieren können. Eine weiträumige Messfähigkeit und Submikronmessungen, bis zu 5 Mikrometer, bieten außergewöhnliche Möglichkeiten zur Prozessoptimierung. Schließlich halten hochentwickelte Fehlererkennung und Überprüfung manuelle Anstrengungen auf ein Minimum und vereinfachen den Analyseprozess weiter. UVision 5 Asset bietet überlegene Vielseitigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit für Halbleiterfehlerisolierung, Prozessoptimierung und Ertragsmanagementprozesse. Höchste Klarheit in den Bildern und Genauigkeit der Waferregistrierung stellen sicher, dass Designmerkmale und Muster effizient verarbeitet werden, was zu einem zufriedenstellenden Endergebnis führt. So ist AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 das ideale Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, um den anspruchsvollsten Herausforderungen in der High-End-Halbleiterindustrie gerecht zu werden.
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