Gebraucht BROWN & SHARPE 4.5.4 SF #9286760 zu verkaufen
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ID: 9286760
Coordinate Measuring Machine (CMM)
Envelope size: 700 x 1000 x 700 mm
Accuracy: 3.0+3.01/1000.
BROWN&SHARPE 4.5.4 SF ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um Fehler in Produktionsmasken und Wafern schnell und genau zu erkennen. Es verwendet mehrere Techniken, um beide Seiten von IC-Wafern und -Masken schnell zu überprüfen, einschließlich Die-to-Die, Area-Vector-Mapping, doppelseitiger Schablonendruck und Durchgangsloch-Querschnittsanalyse. Das System ermöglicht es einem einzigen Techniker, mehrere Funktionen gleichzeitig auszuführen und lässt sich leicht an unterschiedliche Produktanforderungen anpassen. Die doppelseitigen Schablonendruckfunktionen der Einheit erkennen automatisch Unterschiede zwischen dem ursprünglich entworfenen Muster und dem auf einer eigentlichen Maske gestapelten Muster. Diese Informationen werden dann verwendet, um die physikalischen Eigenschaften der Maske zu überprüfen. Die Maschine verwendet eine zweiseitige Laminierung aus Polyurethan zusammen mit einem Acrylfleck, um eine einheitliche Maske auf dem Maskenhalter zu bilden. Etwaige Mängel an der Maske können dann identifiziert werden. Für die Waferinspektion verwendet das Werkzeug Flächenvektor-Mapping-Technologie. Diese Technologie ermöglicht eine automatisierte Abbildung von Die-to-Die-Daten auf beiden Seiten des Wafers. Die Abgrenzung auf jeder Seite des Wafers basiert auf den Abbildungsdaten und dient überwiegend der Erkennung von Defekten auf dem Wafer. Die Querschnittsanalysefunktionalität des Objekts verwendet mikroskopische Bilder, um nach Fehlern in den Verbindungslücken zwischen den Kontaktfingern des Wafers zu suchen. Eine Kamera wird verwendet, um jeden Kontaktfinger zu scannen und die Spaltbreite zu messen, um winzige Fehler zu erkennen. Das Modell BROWN&SHARPE 4.5.4 SF ist in der Lage, Wafer- und Maskeninspektionen in einem Bruchteil der Zeit herkömmlicher Systeme durchzuführen. Es wurde für die schnelle Einrichtung und Bedienung konzipiert, so dass ein einzelner Techniker mehrere Funktionen gleichzeitig bedienen kann. Darüber hinaus ist die Ausrüstung leicht einstellbar, um verschiedenen Prozessanforderungen gerecht zu werden. Dies macht es ideal für diejenigen, die Zeit sparen und die Zuverlässigkeit bei der Durchführung von Masken- und Wafer-Inspektionen erhöhen möchten.
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