Gebraucht BRUKER InSight 3D-DR #9293797 zu verkaufen
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ID: 9293797
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2017
Photomask inspection system, 12"
2017 vintage.
BRUKER InSight 3D-DR ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die in-line, zerstörungsfreie 3D-Analyse integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Es verwendet eine Kombination von optischen und Röntgenverfahren, um die dimensionalen, topographischen und defekten Parameter von Halbleitermustern oder Proben mit einer Genauigkeit von etwa 0,6 µm zu messen. Das System ist in der Lage, Einzel- und Doppelwafer-Inspektionen einer Vielzahl von Proben wie Masken, Wafer und Leiterplatten durchzuführen. Seine Optik-basierte Scantechnologie hat die Fähigkeit, Fehler mit hoher Empfindlichkeit und Genauigkeit zu erkennen, auch mit extrem hoher Funktionsdichte. Es bietet auch umfassendes Feedback sowohl auf die Seitenwandwinkel und Transistorstromleckage, so dass Hersteller und Ingenieure mit Vertrauen arbeiten. InSight 3D-DR verfügt über eine leistungsstarke Benutzeroberfläche, die eine schnelle, einfache Einrichtung und Instrumentensteuerung ermöglicht. Durch eine Reihe von Scanoptionen können Benutzer die richtigen Parameter auswählen, um Objekte anhand ihrer Anforderungen zu messen. Dies kann Messungen der Formelementgröße, des planaren Winkels, der Hinterschneidung, der Oberflächenrauhigkeit und mehr umfassen. Das Gerät bietet auch eine automatisierte Optimierung von Bildgebungsparametern für verschiedene Arten von Proben und eine Fehlererkennung, um falsche Positiven zu reduzieren. In Bezug auf die Bildgebung verwendet die Maschine eine Reihe von hochauflösenden, Festkörper-Digitalkameras, um selbst die kompliziertesten Muster zu inspizieren. Es kann auch mit dynamischer HDR-Bildgebung implementiert werden, um Bilder mit hohem Kontrast und beispielloser Auflösung zu erfassen. Daten werden auf eine interne Festplatte geschrieben, auf die lokal oder remote zugegriffen werden kann. Benutzer können Bilder oder Daten schnell und einfach exportieren. Das Tool ermöglicht auch den Zugriff auf mehrere gängige Dateiformate, einschließlich DXF und PDF, um die Kompatibilität mit bestehenden Systemen zu gewährleisten. Abschließend ist BRUKER InSight 3D-DR eine fortschrittliche, vielseitige Lösung für die Masken- und Waferinspektion, die einzigartige Präzision, schnelle Bilderfassung und automatisierte Optimierung bietet. Seine Fähigkeit, gleichzeitig Einzel- und Doppelwafer zu inspizieren, macht es zu einer idealen Wahl für Großprojekte, die schnelle Turnaround und genaue Ergebnisse erfordern.
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