Gebraucht CARL ZEISS AIMS 193 #293712702 zu verkaufen
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ID: 293712702
Weinlese: 2004
Mask qualification system
Reticle size: 6"
Wavelength: 193 nm
Measuring source: Laser
Stage accuracy: ± 2 µm
Illumination: 1.5%
CD Dynamic repeatability: 6 nm
CD Static repeatability: 4 nm
Throughput: 36 / Hrs
Toxic gas
Sigma aperture
Field stop
Condenser lens
Work table
SCU
Objective lens
CCD Camera
PC
PC cable
Operating system: Windows
2004 vintage.
CARL ZEISS AIMS 193 ist eine hochpräzise Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterindustrie. Die Hochleistungsoptik sorgt für extrem scharfe Bilder mit einer Auflösung von bis zu 0,35 µm und einer maximalen Bildvergrößerung von 38x - und ist damit ideal für die anspruchsvollsten Halbleiterbauelemente. Das Gerät ist so konzipiert, dass es präzise, wiederholbare Messungen liefert und gleichzeitig maximale Flexibilität und Skalierbarkeit bietet. CARL ZEISS AIMS193 Maschine verfügt über erweiterte Inspektionsmöglichkeiten, einschließlich automatischer Verschiebung, Fehlererkennung, Kontrastprofilierung und Linienkonformitätstests. Das Werkzeug enthält ein 200mm Spannfutter für eine breite Palette von Wafergrößen. Die integrierte Software ermöglicht es Benutzern, das Asset ganz einfach an ihre spezifischen Bedürfnisse anzupassen und enthält eine Datenbank mit häufigen elektrischen Fehlern. Es kann auch verwendet werden, um die Produktleistung zu verfolgen und etwaige technische Änderungen zu erkennen. Es hat auch eine breite Palette von Ausrichtungsmethoden für die automatische Ausrichtung des Wafers auf dem Futter mit maximaler Genauigkeit. Dadurch wird sichergestellt, dass die kritischen Bereiche des Bauteils genau erfasst werden. Der automatisierte Waferinspektionsprozess ermöglicht es dem Anwender, Fehler zu überwachen und Änderungen schnell zu erkennen. Dadurch entfällt die manuelle Inspektion, die schnellere Produktionszyklen und weniger umständliche Produktentwicklungsprozesse ermöglicht. AIMS 193 ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich eines Sterilisationsmodells, das die Ausrüstung deaktiviert, wenn sie unbefugtes Personal in der Nähe erkennt. Hierdurch werden versehentliche Störungen des Wafers oder Störungen des Systems vermieden. Darüber hinaus kann das Gerät erkennen, wenn Wafer beschädigt sind und kann den aktuellen Prozess automatisch unterbrechen, um weitere Schäden zu verhindern. Abschließend ist AIMS193 eine leistungsstarke Inspektionsmaschine, die außergewöhnliche Bildqualität und Präzision bietet. Es bietet Anwendern eine umfassende Suite an Inspektions- und Konfigurationsmöglichkeiten für die anspruchsvollsten Anwendungen und bietet die perfekte Kombination aus Effizienz und Sicherheit.
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