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CARL ZEISS AIMS ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage von CARL ZEISS SMT, einem weltweit führenden Anbieter von fortschrittlichen integrierten messtechnischen Lösungen. Das System wurde entwickelt, um eine schnelle, genaue Inline- oder Offline-Inspektion von Masken und Wafern für die Herstellung in der Halbleiterindustrie zu ermöglichen. Zu den Inspektionsmöglichkeiten von AIMS gehören die automatische Position der Funktionen, die Überlagerungsausrichtung, die visuelle Inspektion und das OCR-Lesen. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Bilderkennungsalgorithmen ausgestattet, um Masken und Wafer zu untersuchen und zu vergleichen und subtile Abweichungen vom Standard zu erkennen. Mit einer Detektionsgenauigkeit von ± 2 µm oder besser sichert CARL ZEISS AIMS die Produktqualität und erfüllt die strengsten Spezifikationen. Die Maschine ist modular aufgebaut und ermöglicht eine Skalierbarkeit, die spezifischen Produktionsanforderungen entspricht. Neben der Unterstützung automatisierter Inspektionsaufgaben bietet AIMS auch eine Vielzahl von Integrationsmöglichkeiten: Es ist kompatibel mit vorhandener Software und Datenbanken und bietet eine einfach zu bedienende API. CARL ZEISS AIMS bietet eine Vielzahl von Vorteilen gegenüber traditionellen Techniken. Zum Beispiel kann es auf mehreren Masken und Wafern gleichzeitig arbeiten, wodurch die Zeit bis zur Inspektion reduziert und die Notwendigkeit einer manuellen Einrichtung minimiert wird. Das Tool schlägt auch traditionelle Inspektionstechniken in Bezug auf Kosteneinsparungen und Qualitätsverbesserung und bietet zuverlässige Inspektionsergebnisse auch in fortgeschrittenen Produktionsstufen. Insgesamt ist AIMS eine leistungsstarke und hochpräzise Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die die Produktqualität in der Halbleiterindustrie sicherstellt. Durch seine automatisierten Bilderkennungsfunktionen garantiert es eine hochpräzise Erkennung winziger Abweichungen von Standards und gewährleistet die Produktion hochwertigster Produkte.
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