Gebraucht CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #293778366 zu verkaufen

ID: 293778366
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Optical review system, 12" 2004 vintage.
CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300 ist eine vielseitige, voll ausgestattete Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die den Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Das System verfügt über einen hochauflösenden 5-Megapixel-CCD-Bildgebungssensor, der empfindlich genug ist, um auch sehr kleine Fehler zu erkennen. Die Inspektion kann konfiguriert werden, um Maskenfehler, Wafer-Defekte und Verbindungsfehler zu erkennen. Das Gerät wird von einem benutzerfreundlichen Windows-basierten Softwarepaket gesteuert. Dies ermöglicht nicht nur eine einfache Konfiguration und Inspektion, sondern bietet auch eine breite Palette von Bildnachbearbeitungs- und Analysefunktionen. Die Software kann verwendet werden, um verschiedene Kontrast- und Randbetonungsbilder für eine bessere Auswertung des Zustandes der Maske oder des Wafers sowie statistische Informationen zu erzeugen. Mit der Software können auch Fehler automatisch erkannt und Punkt-zu-Punkt-Overlays zur weiteren Analyse erzeugt werden. Ein einzigartiges Merkmal von HSEB Axiospect 300 ist die Hochdruck-Scaneinheit, die sowohl die Erkennung von Herstellungsprozessproblemen als auch von Partikelverunreinigungen auf den Substraten ermöglicht. Die Hochdruckabtastung bietet eine hervorragende Fehlerabdeckung für Substrate, wie dicke Dielektrika, Substratquerschnitte und großflächige Schaltungen, die mit herkömmlichen Abbildungsverfahren nicht nachweisbar wären. Für die Waferinspektion kann CARL ZEISS Axiospect 300 sowohl Lochfraß- als auch Kantenfehler erkennen. Die Maschine bietet auch eine Vielzahl von Funktionen wie Kontrastverbesserung, Reflexionsmessung und kritische Dimension (CD) Analyse. Das integrierte und leistungsstarke Wafer-Inspektionswerkzeug kann auch verwendet werden, um Dickenmessungen zu überprüfen, Drahtschnitte und Musterverschiebungen zu identifizieren und mögliche Probleme auf dem Substrat zu diagnostizieren. Axiospect 300 wurde entwickelt, um die Anforderungen sowohl der Forschung als auch der Produktionsumgebung zu erfüllen. Die Optik ist starr, hochwertig und bietet ein breites Vergrößerungsspektrum für verschiedene Anwendungen. Das Asset kann einfach konfiguriert werden, um sowohl Großserien als auch Kleinserien gerecht zu werden. Die leistungsstarken Bildgebungs- und Analysefunktionen von CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300 ermöglichen einen hohen Durchsatz und ermöglichen eine hohe Qualitätskontrolle. Das Modell erfüllt die Qualitätsnormen ISO 9000-2015 und sorgt für eine hohe Produktsicherheit.
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