Gebraucht CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397354 zu verkaufen

CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300
ID: 9397354
Optical review system.
CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300 ist eine anspruchsvolle Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Erkennung von Defekten in der Herstellung und Verpackung von Masken und Wafern. Dieses System verwendet sowohl Top-Down als auch Bottom-Up-Inspektionsmethoden, um die Fehlererkennung mit unübertroffenen Genauigkeitsstufen mit Fähigkeiten bis zu 300 nm Fehlerauflösung zu maximieren. Das einzigartige Design von HSEB Axiospect 300 passt sich nahtlos sowohl an Labor- als auch an Serienproduktionen an. Es ist fachmännisch mit einem optomechanischen Lastanschluss und einem Aufzug mit Fehlausrichtung und Substratebene (+/-2 μ m) Korrekturfähigkeit aufgebaut. Diese bahnbrechende Einheit hat sich als robust auch für die anspruchsvollste Umgebung erwiesen, sowohl für 200mm als auch für 300mm Wafer. CARL ZEISS Axiospect 300 nutzt Hochleistungsoptik. Es verfügt über eine 450-Blickfeld (FOV) -Linsenmaschine, die das Signal-Rausch-Verhältnis optimiert, eine 5-Achsen-Stufe für Präzisionsmesstechnik und Fehlererkennung und ein DSP-Werkzeug (Digital Signal Processing), das eine automatische Fehlerklassifizierung ermöglicht. Axiospect 300 verfügt über eine spezielle Metrologie-Edition für erweiterte Inspektion und Reparatur von Maske und Wafer-Panels. Es verfügt über einen „Teach-and-Learn“ -Autofokus, der die Zeit für die manuelle Anpassung reduziert und die Genauigkeit der Inspektion erhöht. Seine „Live Preview“ -Funktion verbessert die Präzisionsausrichtung und ermöglicht eine schnelle Fehlererkennung. Darüber hinaus setzt das Modell ein automatisches Fehlerreparaturwerkzeug ein, um definierte Fehler effizient zu beseitigen. Dieses Gerät kann dank seines leistungsstarken Bildanalyse-Algorithmus, der für die Waferinspektion optimiert wurde, nahezu jede Art von Defekt automatisch beheben. Darüber hinaus prüft CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300 den gesamten Halbleiterwafer und wird mit fortschrittlicher Software gebaut, die sowohl mit ASML- als auch mit E-Beam-lithographischen Systemen zusammenarbeitet. HSEB Axiospect 300 bietet seinen Anwendern eine komplette, verbesserte bildgebende Lösung, die eine schnelle und genaue Fehlererkennung und -reparatur in verschiedenen Produktions- und Messtechniken der Masken- und Waferherstellung ermöglicht. Mit seinem außergewöhnlichen Feature-Set ist CARL ZEISS Axiospect 300 die ideale Wahl für Masken- und Wafer-Fabrikations- und Produktionsanlagen auf der ganzen Welt.
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