Gebraucht CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397355 zu verkaufen

CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300 ist eine fortschrittliche automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage zur hochauflösenden Bildgebung, Messung und Analyse von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine einzigartige Kombination aus Multireflexionsoptik und Hochleistungssensoren, die eine detaillierte und genaue Inspektion der komplizierten Muster, die Masken und Wafer bilden, ermöglicht. Das System enthält eine integrierte optische Transporteinheit mit einer hohen numerischen Apertur (NA) von 0,5, mit einem modularen Zoom, der zur Aufnahme von Wafern verschiedener Größen verwendet werden kann. HSEB bietet ein Sichtfeld, das von 0,2 mm bis 1,2 mm variieren kann und kleinste Strukturen bis zu 0,5 μ m erfassen und messen kann. Es ist in der Lage, sowohl im Hellfeld als auch im Dunkelfeld-Bildgebungsmodus abzubilden und ist mit einer automatisierten Bühne für das Scannen an mehreren Standorten ausgestattet. Das bildgebende Subsystem von CARL ZEISS verwendet eine hochauflösende CCD-Kamera, die Bilder mit einem Dynamikbereich von 12 Bit aufnimmt. Es verfügt über eine anspruchsvolle Lichtquelle bestehend aus einem flachen Leuchtstofflampen, einem Monochromator und einer integrierten Laserdiode. Diese Lichtquelle wird verwendet, um Mehrkanalbilder sowie Mehrwellenlängenbilder mit vier verschiedenen Anregungswellenlängen zu erzeugen. Die Maschine bietet eine Vielzahl von Bildverarbeitungswerkzeugen, darunter Fourier-Transformation, Binärfilter, Morphologiefilter und Bildsegmentierung. Diese Eigenschaften machen es einfach, Merkmale wie Partikelfehler, Linien oder sogar blockierte Bilder zu unterscheiden, einschließlich Defekte innerhalb einer einzigen Schicht auf dem Wafer oder sogar Defekte zwischen zwei Schichten. CARL ZEISS/HSEB bietet darüber hinaus eine breite Palette flexibler Messoptionen wie Linienbreitenmessungen, Overlay-Berechnungen oder Auswertung von Seitenverhältnissen. Es ist auch mit einem automatisierten Defektklassifizierer und einer Prüfstation ausgestattet, die den Inspektionsprozess optimiert. Schließlich ermöglicht eine integrierte Datenbank die automatische Speicherung von Ergebnissen für zukünftige Analysen. Insgesamt ist HSEB Axiospect 300 ein fortschrittliches und vielseitiges Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das eine Kombination aus hochauflösender Bildgebung, Messungen und anspruchsvoller Bildanalyse bietet; ideal für Halbleiterbauelementinspektion, Forschung und Entwicklung.