Gebraucht CARL ZEISS MeRit HR32 Plus #9254285 zu verkaufen

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ID: 9254285
Weinlese: 2011
Mask repair system CIM: SECS / GEM SMIF 2011 vintage.
CARL ZEISS MeRit HR32 Plus ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die innovative Technologie zur kristallklaren Defektcharakterisierung nutzt. Dieses System funktioniert, indem kleine, aber wichtige Funktionen auf Masken und Wafern verfolgt werden, um etwaige Mängel zu erkennen. MeRit HR32 Plus nutzt mehrere einzelne Lichtquellen, die ein anderes Muster strukturierten Lichts projizieren. Dieses Gerät ist kompakt und beansprucht nur wenig Platz und bietet dennoch eine leistungsstarke und zuverlässige Leistung. Jede Lichtquelle erzeugt zwei senkrechte, lineare Kurven, während das Licht auf die Maske/den Wafer trifft. Eventuell noch sichtbare Defekte nach dem Durchlaufen des Lichts werden von einem zu analysierenden Lichtquellenbild in Echtzeit beleuchtet. Um die Genauigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten, verwendet der Inspektionsprozess Autofocus Depth Control und eine 3D-Messtechnik-Maschine. Diese Funktionen kombinieren, damit der Benutzer den Fokus automatisch steuern und das 3D-Oberflächenprofil der Masken/Wafer messen kann. Dadurch entfällt die manuelle Anpassung der Abbildungsoptik. Die mit diesem Tool bereitgestellte Software ist einfach zu bedienen und enthält mehrere Funktionen, die zur Optimierung des Inspektionsprozesses beitragen. Dazu gehören ein integrierter Berichtsgenerator, eine umfassende Fehlerdatenbank und eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI). Mit diesen Funktionen kann der Benutzer alle Fehler schnell diagnostizieren und auf alle während der Inspektion gesammelten Daten zugreifen. CARL ZEISS MeRit HR32 Plus ist ideal für messtechnische Anwendungen im Bereich der Photolithographie. Es ist die perfekte Wahl für hochauflösende Inspektion, 3D-Fehlerbildgebung und hochpräzise Maskenausrichtung und -messung. Dieses Asset ist in der Lage, schnell Nicht-Gleichmäßigkeiten und Mängel zu erkennen, die nicht mit dem bloßen Auge zu sehen sind. Mit seiner beeindruckenden Genauigkeit und zuverlässigen Leistung ist MeRit HR32 Plus ein idealer Begleiter für jede messtechnische Anwendung.
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