Gebraucht CEI Opt 653 #149295 zu verkaufen
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ID: 149295
Third optical inspection machine with auto conversion
Package specification:
Lead frame dimensions:
Width: 20 mm - 90 mm
Length: 140 mm - 280 mm
Loading / unloading:
Single magazine input / output
Magazine Dimensions:
145 mm to 285 mm (Length)
25 mm to 95 mm (Width)
150 maximum (Height)
Convertible magazine elevator system (programmable pitch)
Motorized Frame pusher assembly with obstruction sensors
Auto package conversion sensor controls to prevent damages to parts
Workholder station:
High accuracy Programmable X-Y table
Device obstruction detector
Pneumatic device gripper to inspection area
Less than 5 minutes programming time (for pre-programmed package)
X-Y index accuracy of ± 50um
Manual and auto indexing capability
Inspection System:
Segmented inspection (up to 16)
Option of performing sampling or 100% inspection
Stereozoom microscope
Strip mapping features with defect codes
Software features:
100 Predefine reject coding
GPPH, MTBA, MTTA report and SPC
Lot report with strip map
Reverse strip report useful for QA
5 Stage password protection
Premapping software features
Programmable strip movement during inspection
Strip map color coding
Segmented inspection (up to 16 segment)
Controller:
Microsoft Windows PC based control with UPS
Facilities:
Power supply: 110 VAC / 8 A, 230 VAC / 4A
Air supply: 72.5 psi (5 bar), CDA.
CEI Opt 653 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Erkennung von Defekten und Kontaminationen auf Masken- und Wafersubstraten. Das von California Eastern Laboratories entwickelte Opt 653 bietet eine automatisierte Inspektion und verbesserte Bildqualität durch seine 3-2-Infinity-Optik und einen neuen Maskeninspektionsalgorithmus. Das System bietet eine hervorragende Oberflächengüte für einwandfreie Bildqualität und eine möglichst hohe Fehlerauflösung. Das Gerät kann Submikrondefekte und Oberflächenverunreinigungen sowohl auf opaken als auch auf transparenten Maskensubstraten erkennen. Es verwendet einen optischen Zeichenerkennungsalgorithmus, um selbst feinste Details und Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche des Wafers und der Maske zu erkennen. Die Maschine ist für verschiedene Bildverarbeitungsalgorithmen wie Ridge-Line Feature Lokalisierung und Edge Enhancement optimiert. Die Hardware des CEI Opt 653 besteht aus fünf Hauptkomponenten - einer mehrkanaligen hochauflösenden Kamera, einem Zoomobjektiv und einem strahlteilenden Spiegel; drei feste Bühnenpositionen; und ein Feldeffekttransistor (FET) -Detektorarray. Das Zoomobjektiv ermöglicht es dem Werkzeug, sich mit absoluter Genauigkeit schnell auf einen bestimmten Defekt oder Objekt zu konzentrieren. Das FET-Detektor-Array erhöht die Auflösung der Kamera, wodurch sehr kleine Fehler erkannt werden können. Opt 653 ist softwarefähig und verfügt über voreingestellte Inspektions- und Prozessrezepte, mit denen der Benutzer schnell einen Scan oder eine Inspektion einrichten und ausführen kann. Es verfügt auch über eine intuitive Benutzeroberfläche, die es dem Benutzer ermöglicht, Operationen und Einstellungen nach Bedarf anzupassen. Das Asset bietet auch die vollständige Kontrolle über die Beleuchtungs-, Fokussierungs- und Vergrößerungseinstellungen sowie die Fähigkeit, den Inspektionsprozess einzuleiten und zu stoppen. Für präzisere und genauere Ergebnisse kann der Benutzer aus drei Inspektionsmodi auswählen: Planar, Contact und Overscan. CEI Opt 653 ist kompatibel mit der OnDemand-Plattform des Unternehmens, die Datenerfassung und -berichterstattung sowie Fernansicht und -analyse ermöglicht. Die Plattform ermöglicht es Benutzern auch, frühere Scans und Inspektionen zurückzurufen, Ergebnisse zu archivieren und Trends aufzuzeichnen. Das Modell ist mit einer 47,2 "Tischgröße erhältlich und kann sowohl kreisförmige als auch quadratische Maskensubstrate handhaben. Es ist auch benutzerfreundlich gestaltet und bietet eine schnelle, genaue und zuverlässige Lösung für die Masken- und Waferinspektion.
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