Gebraucht CYBEROPTICS Cobra #173485 zu verkaufen

CYBEROPTICS Cobra ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Halbleiterherstellungsanwendungen. Es bietet eine Kombination aus hohem Durchsatz und Präzision für detaillierte Messtechnik, Bildgebung und Filmmessungen. Mit den neuesten Technologien ist Cobra in der Lage, eine selektive Flächenbeleuchtung und lasergetriebene Bildgebung durchzuführen, die es ermöglicht, hochauflösende Bildaufnahmen, Filmdickenmessungen und Stempelüberlagerungsmessungen mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit durchzuführen. Für bildgebende Anwendungen ist CYBEROPTICS Cobra mit einem 2048 × 2048 Pixel bildgebenden Array mit Standard 26x optischer Vergrößerung ausgestattet. Das System umfasst eine motorisierte Bewegungsstufe, die es der bildgebenden Einheit ermöglicht, sich in der x-Achse, y-Achse und um den Wafer zu bewegen. Darüber hinaus unterstützt Cobra eine Vielzahl von Beleuchtungstechniken, wie lasergetriebene Bildgebung, Dunkelfeld- und Hellfeld-Topologie-Bildaufnahme. Für messtechnische Anwendungen ist CYBEROPTICS Cobra mit einem hochauflösenden Wegsensor und einer Vielzahl von selbstkalibrierenden Messsoftware ausgestattet, um Overlay, Linienbreiten, Linienrauhigkeit und kritische Dimensionsschwankungen genau zu messen. Darüber hinaus unterstützt die Maschine Bandpass- und Mehrkanal-optische Filter für die kolorimetrische Messung sowie erweiterte Oberflächenplasmonresonanzanalysen (SPR) für zusätzliche Oberflächenanalysefunktionen. Für Filmmessanwendungen ist Cobra mit einem optischen Reflektometer zur Filmdickenmessung ausgestattet. Das Werkzeug kann die Reflexion von der Waferoberfläche mit einem im Asset integrierten Spektrometer genau messen. Dies ermöglicht eine hohe Durchsatzmessung des Folientyps, der Foliendicke und der Schichtabdeckung sowie eine automatisierte Folienmessung und Planheits-/Rauhigkeitskennzeichnung. Insgesamt bietet CYBEROPTICS Cobra ein umfassendes und integriertes Modell zur Masken- und Waferinspektion und Charakterisierung. Mit hochauflösender Bildgebung, Präzisionsmesstechnik und genauer Filmmessung ist die Ausrüstung eine wertvolle Ergänzung zu jedem Halbleiterherstellungsprozess. Darüber hinaus ermöglichen die fortschrittliche Software und die motorisierte Bewegungsstufe einen hohen Durchsatz und eine effiziente Waferinspektion, was Cobra zu einer ausgezeichneten Wahl für Halbleiterhersteller macht.