Gebraucht CYBEROPTICS LSM 300 #9008344 zu verkaufen
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CYBEROPTICS LSM 300 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die Halbleiterherstellern hilft, Fehler an ihren Produkten schnell zu erkennen. Dieses System bietet eine Komplettlösung, um Funktionen auf Substraten, einschließlich Masken, Wafern und Bleirahmen, schnell und effizient zu identifizieren und zu analysieren. Das Gerät ermöglicht eine umfassende automatische Inspektion mittels laserinterferometrischer und optischer Messtechnik. Um sicherzustellen, dass während des gesamten Inspektionsprozesses die richtigen Informationen gesammelt werden, verwendet LSM 300 einen einzigartigen Bildverarbeitungsalgorithmus. Dieser Algorithmus erkennt regelmäßig sich wiederholende Strukturen in der Maske und kompensiert durch das Substrat eingeführte Ungenauigkeiten. Der Algorithmus identifiziert auch effektiv Low-Profile-Merkmale, die ansonsten nicht nachweisbar wären. CYBEROPTICS LSM 300 bietet eine umfassende Untersuchung jeder Maske und Wafer. Die Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten mit Abmessungen von bis zu 450 mm im Durchmesser unterzubringen. Zusätzlich werden ultraviolette und sichtbare Lichtquellen verwendet, um sowohl obere als auch untere Oberflächen der Substrate zu inspizieren. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer breiten Palette von Substraten kompatibel, darunter Quarz, Silizium und metallische. LSM 300 verfügt zudem über ein zuverlässiges und effizientes Kamerawerkzeug, das eine hochauflösende Bildgebung und präzise Messungen bietet. Dieses Asset ist in der Lage, Bilder mit einer Geschwindigkeit von bis zu 600 Bildern pro Sekunde zu erfassen und aufzunehmen. Das Kameramodell ist mit fünf verschiedenen Filtern ausgestattet, so dass es verschiedene Farben und Lichtgrößen aufnehmen kann. Dies ermöglicht eine genaue Abbildung von lichtschwachen Merkmalen. CYBEROPTICS LSM 300 wurde speziell für die anspruchsvollsten Herstelleranforderungen entwickelt und ist in der Lage, komplexe Fehler zu analysieren, die sonst übersehen würden. Es kann Oberflächen- und Unterflächenfehler sowie Abschrägungen, Gruben und Vorsprünge erkennen und unterscheiden. Darüber hinaus ist das Gerät auch mit einer Autofokus-Fähigkeit ausgestattet, so dass sich der Bediener an jeder Stelle auf das Substrat konzentrieren kann. Zusammenfassend ist LSM 300 ein fortschrittliches Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das entwickelt wurde, um Defekte auf Substraten zu finden und zu analysieren. Das Gerät verfügt über eine robuste Kameramaschine, die eine hochauflösende Bildgebung und präzise Messungen ermöglicht. Es verwendet auch einen einzigartigen Bildverarbeitungsalgorithmus, um regelmäßig sich wiederholende Strukturen in der Maske zu identifizieren und Ungenauigkeiten zu kompensieren. Durch den Einsatz von CYBEROPTICS LSM 300 können Hersteller Fehler schnell erkennen und Qualitätsprodukte sicherstellen.
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