Gebraucht DATAPHYSICS ACA 50 #9123550 zu verkaufen
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Tippen Sie auf Zoom
ID: 9123550
Weinlese: 2001
Fully automatic contact angle measurement systems
Programmable, video-based
Holds up to (6) ES-A electric dosing modules
SCA-50 software package ver. 1.21 Build 74
WT200E Motorized measuring stage adjustable in (3) axes
Lens mount with motorized adjustable tilt
Motorized zoom with software controlled aperture, magnification, and focus
High resolution CCD camera with video frame grabber
Windows NT 4.0 running full graphical user interface with 32 bit software
Analysis of drop according to Pendant Drop method
Multiple sample holders (includes 6" and 8" wafer holders)
2001 vintage.
DATAPHYSICS ACA 50 ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für den Einsatz in Halbleiterfabriken. Es bietet genaue Fehler- und Topographiemessungen von Wafer-basierten Defekten und Verschmutzungen. Es ist in der Lage, Sub-Wellenlängendefekte so klein wie 0,07 µm zu detektieren, ermöglicht hochauflösende Bildgebung und Analyse. Das System verfügt über eine zum Patent angemeldete adaptive Kontrasttechnologie, die die Helligkeit und den Kontrast des Bildes für bessere Inspektionsergebnisse moduliert. Dies ist wichtig bei der Untersuchung von prozessempfindlichen Defekten und Verschmutzungen und besonders nützlich bei Geräten mit komplexen Layouts. Das Gerät verwendet eine Infrarot-Lichtquelle, die genau und sicher ist. Es verfügt auch über eine fortschrittliche multispektrale bildgebende Analysemaschine, die die gleichzeitige Erfassung von Bilddaten mit mehreren Filtern ermöglicht. Dies gewährleistet genaue und wiederholbare Ergebnisse auch bei verschiedenen Probentypen und Substraten. ACA 50 verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, die das Einrichten und Bedienen vereinfacht. Es enthält auch eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, um die Effizienz und Genauigkeit von Inspektionsaufgaben zu verbessern, einschließlich automatischer Waferregistrierung, Hintergrundkompensation, Fehlerskalierung, Bildnähte, Bildoptimierung und Bühnenausrichtung. Das Werkzeug verfügt über eine integrierte Bühne für die automatisierte Probenhandhabung. Es ist mit einer motorisierten X-Y mechanischen Stufe ausgestattet und unterstützt eine maximale Probengröße von 6 „x6“. Die Bühne ist mit proprietärer Technologie ausgestattet, um eine präzise Positionierung und Ausrichtung der Probe für eine effiziente Inspektion zu gewährleisten. Das Asset ist mit einer Bibliothek von benutzerdefinierten Software-Tools integriert, um die Inspektionszeit zu reduzieren und die Genauigkeit zu erhöhen. Diese Werkzeuge umfassen ein Fehlerverfolgungswerkzeug, ein Bildvorverarbeitungsmodul und ein Wafer-Analysemodul. Es beinhaltet auch ein GUI-basiertes Defekt-Grading-Modell und eine integrierte Fehleranalyse-Datenbank, die alle Inspektionsdaten speichert und organisiert. DATAPHYSICS ACA 50 wurde entwickelt, um einen schnellen, genauen und wiederholbaren automatischen Wafer- und Maskeninspektionsprozess zu liefern. Durch die Bereitstellung umfassender Analysefunktionen und effizienter Automatisierung trägt die Ausrüstung dazu bei, die Gesamtkosten zu senken und den Ertrag zu verbessern.
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