Gebraucht ECOPIA HMS-5000 #9248771 zu verkaufen

ECOPIA HMS-5000 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage der nächsten Generation, die entwickelt wurde, um sowohl Masken als auch Wafer mit hoher Genauigkeit für die Herstellung hochwertiger Geräte zu messen. Dieses System verfügt über eine Weitfeld-Fernseheinheit, Laser/optische Sensoren und die neueste Multi-Sensor-Inspektionstechnologie, um Mess- und Inspektionsaufgaben auf höchstem Niveau der Genauigkeit durchzuführen. Die Fernsichtmaschine besteht aus zwei Objektivlinsen mit einem Sichtfeld, das eine breite Fläche der Probensubstrate abdeckt. Lasersensoren emittieren Licht von einem 8-Achsen-Abtastkopf, und das reflektierte Licht wird von vier an der Strukturstation angebrachten Lichtsensoren detektiert. Dadurch können eventuell auftretende Verzerrungen und Unregelmäßigkeiten auf der Substratoberfläche erkannt werden. Die Laser/optischen Sensoren messen Form und Größe etwaiger Fehler im Substrat mit hoher Genauigkeit, und die Multi-Sensor-Inspektionstechnik verbessert das Detektionswerkzeug weiter, indem sie eine genauere Analyse der physikalischen Parameter der Substrate ermöglicht. Die erweiterte optische Messanlage kann eine breite Palette von Proben messen, einschließlich undurchsichtiger und nicht undurchsichtiger Masken und Wafer. Es kann nicht nur Oberflächenmängel erkennen, es kann auch die Breite und Dicke von Linien, die Randposition von Mustern, den Bereich und die Form von Defekten und die Oberflächengleichförmigkeit von Rückschleifscheiben messen. Dies trägt dazu bei, dass die Fertigungsprozesse der Geräte von höchster Qualität sind. Das automatisierte Inspektionsmodell ermöglicht es Anwendern auch, Inspektionsdaten für mehrere Substrate in einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) zu speichern und abzurufen. Dies ist besonders nützlich bei der Analyse großer Probenmengen. Darüber hinaus können Benutzer verschiedene Sätze von Inspektionsdaten für die Musteranpassung leicht vergleichen und auch benutzerdefinierte Parameter für verschiedene Anwendungen festlegen. Diese Eigenschaften machen HMS-5000 zu einer leistungsstarken, aber vielseitigen Inspektionsausrüstung. Zusammenfassend ist ECOPIA HMS-5000 ein fortschrittliches Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das Anwendern hohe Genauigkeitsmessungen für eine hochwertige Geräteherstellung bietet. Die Multisensor-Inspektionstechnologie, die Fernlicht-Sichteinheit und die Laser/optischen Sensoren machen es zu einer idealen Maschine zur Erkennung von Oberflächenfehlern in einer Vielzahl von Substraten. Darüber hinaus machen die intuitive GUI und die anpassbaren Funktionen es zu einem leistungsstarken und vielseitigen Werkzeug für die automatisierte Inspektion.