Gebraucht ELICON EMA 3540 #106694 zu verkaufen
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ELICON EMA 3540 ist eine vollautomatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterbauelementproduktion. Dieses System wurde entwickelt, um eine schnelle und genaue Erkennung von Defekten an IC-Masken und Wafern während der Produktion zu ermöglichen. Das Gerät nutzt fortschrittliche Optiksysteme und hochauflösende Bildgebungsfunktionen, um eine Vielzahl von Fehlern erfolgreich zu erkennen und anzuzeigen. EMA 3540 besteht im Wesentlichen aus einem optischen Substratanalysator (OSA) und einer Software Evaluation Machine (SES). Die OSA erwärmt und flacht den Wafer oder die Maske zur Inspektion, bedeckt das Substrat mit einer Schutzplatte und leitet dann einen Laserstrahl niedriger Intensität auf das Substrat. Da der Laserstrahl vom Substrat reflektiert wird, wird er von den fortschrittlichen Optiksystemen des OMA überwacht. Die OMA sind in der Lage, eine Vielzahl von Defekten wie Partikel, Stiftlöcher, Partikelcluster und andere zu erkennen, die mit traditionellen Methoden schwieriger zu erkennen sind. Sobald das OMA einen Defekt erkennt, wird er bearbeitet und im SES angezeigt. Diese integrierte Software soll den Anwender bei der schnellen und genauen Interpretation der Daten unterstützen. Die SES-Software hat die Fähigkeit, interessante Bereiche auf dem geprüften Substrat schnell und genau zu identifizieren, den Fehler zu klassifizieren und einen Inspektionsbericht für den Benutzer zu erstellen. Darüber hinaus können Benutzer bei Bedarf die erforderlichen Korrekturen an der Maske oder dem Wafer vornehmen. ELICON EMA 3540 ist auch sehr anpassbar und in der Lage, eine breite Palette von Inspektionsanforderungen zu erfüllen. Beispielsweise kann das OMA verwendet werden, um mehrere Substrate gleichzeitig zu untersuchen, während das SES in der Lage ist, Informationen auf einer großen Anzahl von Substraten zu analysieren und anzuzeigen. Darüber hinaus können Anwender das Werkzeug an ihre spezifischen Inspektionsanforderungen anpassen und so Wafer schnell und präzise mit hoher Präzision und Zuverlässigkeit inspizieren. EMA 3540 ist eine ideale Lösung für Hersteller, die ihren Betrieb optimieren und die Qualität ihrer Fertigprodukte verbessern möchten. Bewaffnet mit seinen fortschrittlichen Optiksystemen, hochauflösenden Bildgebungsfunktionen und Anpassungsoptionen bietet ELICON EMA 3540 schnelle und genaue Masken- und Wafer-Inspektionsmöglichkeiten und hilft Herstellern, ihre Defekte zu reduzieren und ihre gesamte Prozesseffizienz zu verbessern.
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